Hva er CVD TAC Coating? - Veteksemi

Som vi alle vet,Tantal -karbid (TAC)har et smeltepunkt på opptil 3880 ° C, høy mekanisk styrke, hardhet, termisk støtmotstand; god kjemisk inerthet og termisk stabilitet overfor ammoniakk, hydrogen, silisiumholdig damp ved høye temperaturer.

Tantal karbidbelegg på et mikroskopisk tverrsnitt

CVD TAC belegg, kjemisk dampavsetning (CVD) avtantal karbid (TAC) belegg, er en prosess for å danne et belegg med høy tetthet og holdbart på et underlag (vanligvis grafitt). Denne metoden innebærer avsetning av TaC på overflaten av substratet ved høye temperaturer, noe som resulterer i et belegg med utmerket termisk stabilitet og kjemisk motstand.

De viktigste fordelene med CVD TAC -belegg inkluderer:

●  Ekstremt høy termisk stabilitet: Tantalkarbidbelegg tåler temperaturer over 2200°C.

● Kjemisk motstand: CVD TaC-belegg kan effektivt motstå sterke kjemikalier som hydrogen, ammoniakk og silisiumdamp.

● Sterk vedheft: TAC-belegget sikrer langvarig beskyttelse uten delaminering.

●  Høy renhet: minimerer urenheter, noe som gjør den ideell for halvlederapplikasjoner.

Disse beleggene er spesielt egnet for miljøer som krever høy holdbarhet og motstand mot ekstreme forhold, for eksempel halvlederproduksjon og industrielle prosesser med høy temperatur.

I industriell produksjon, grafitt (karbon-karbon kompositt) materialer belagt med TaC-belegg er svært sannsynlig å erstatte tradisjonell grafitt med høy renhet, pBN-belegg, SiC-beleggsdeler, etc. I tillegg, innen romfart, har TaC et stort potensial for å bli brukt som en høytemperatur-antioksidasjon og anti-ablasjonsbelegg, og har brede bruksmuligheter. Imidlertid er det fortsatt mange utfordringer for å oppnå klargjøring av tett, jevnt, ikke-flakende TaC-belegg på overflaten av grafitt og fremme industriell masseproduksjon.

I denne prosessen er det avgjørende for tredje generasjon å utforske beskyttelsesmekanismen til belegget, innovere produksjonsprosessen og konkurrere med det øverste utenlandske nivået.halvlederkrystallvekst og epitaksi.

VeTek Semiconductor er en profesjonell kinesisk produsent av CVD Tantalum Carbide Coating-produkter, og vår TaC Coating-renhet er under 5 ppm, kan møte kundenes krav. VeTekSemi viktigste CVD TaC Coated produkter inkluderer CVD TAC belegg digel, CVD TaC Coating Wafer Carrier, CVD TAC beleggbærer, CVD TAC beleggdeksel,  CVD TaC beleggring. Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby avanserte løsninger for forskjellige beleggprodukter for halvlederindustrien. Vetek Semiconductor håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

Hvis du har spørsmål eller trenger ytterligere detaljer, ikke nøl med å ta kontakt med oss.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E-post: anny@veteksemi.com