CVD TAC belegg

CVD TAC -belegg (kjemisk dampavsetning Tantal karbidbelegg) er et beleggprodukt hovedsakelig sammensatt av tantal karbid (TAC). TAC -belegg har ekstremt høy hardhet, slitestyrke og høy temperaturmotstand, noe som gjør det til et ideelt valg for å beskytte nøkkelutstyrskomponenter og forbedre prosessens pålitelighet. Det er et uunnværlig materiale i halvlederbehandling.

CVD TAC -beleggprodukter brukes vanligvis i reaksjonskamre, wafer -bærere og etsningsutstyr, og spiller følgende nøkkelroller i dem.

CVD TAC -belegg brukes ofte for interne komponenter i reaksjonskamre som underlag, veggpaneler og varmeelementer. Kombinert med sin utmerkede høye temperaturmotstand, kan den effektivt motstå erosjonen av høy temperatur, etsende gasser og plasma, og dermed effektivt forlenge utstyrets levetid og sikre stabiliteten i prosessen og renheten i produktproduksjonen.

I tillegg har TAC-belagte skivebærere (som kvartsbåter, inventar osv.) Også utmerket varmebestandighet og kjemisk korrosjonsmotstand. Viselageret kan gi pålitelig støtte for skiven ved høye temperaturer, forhindre forurensning av skive og deformasjon, og dermed forbedre det totale brikkeutbyttet.

Dessuten er VeTek Semiconductors TaC-belegg også mye brukt i forskjellig etse- og tynnfilmavsetningsutstyr, som plasmaetsere, kjemiske dampavsetningssystemer osv. I disse prosesseringssystemene kan CVD TAC Coating motstå høyenergi-ionebombardement og sterke kjemiske reaksjoner , og sikrer dermed nøyaktigheten og repeterbarheten til prosessen.

Uansett hva dine spesifikke krav er, vil vi samsvare med den beste løsningen for dine CVD TAC -beleggbehov og ser frem til konsultasjonen din når som helst.

VeTek Semiconductor CVD TAC Coating produkter butikker:

Oversikt over industrikjeden for halvlederbrikkeepitaxy: