CVD TAC belegg digel

TAC -beleggrotasjonsceptor spiller en nøkkelrolle i avsetningsprosesser med høy temperatur som CVD og MBE, og er en viktig komponent for prosessering av wafer i halvlederproduksjon. Blant dem,TAC -belegghar utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsbestandighet og kjemisk stabilitet, noe som sikrer høy presisjon og høy kvalitet under skivebehandling.

CVD TAC -belegg digel består vanligvis av TAC -belegg oggrafittunderlag. Blant dem er TAC et keramisk materiale med høyt smeltepunkt med et smeltepunkt på opptil 3880 ° C. Det har ekstremt høy hardhet (Vickers -hardhet opp til 2000 HV), kjemisk korrosjonsmotstand og sterk oksidasjonsmotstand. Derfor er TAC -belegg et utmerket høytemperaturbestandig materiale i halvlederbehandlingsteknologi.

Grafittsubstratet har god varmeledningsevne (termisk ledningsevne er omtrent 21 W/m · K) og utmerket mekanisk stabilitet. Denne egenskapen bestemmer at grafitt blir et ideelt beleggunderlag.

CVD TAC belegg digel brukes hovedsakelig i følgende halvlederbehandlingsteknologier:

Wafer Manufacturing: Vetek Semiconductor CVD TAC -belegg digel har utmerket høy temperaturmotstand (smeltepunkt opp til 3880 ° C) og korrosjonsmotstand, så det brukes ofte i viktige vekstproduksjonsprosesser som høy temperaturdampdeponering (CVD) og epitaksial vekst. Kombinert med produktets utmerkede strukturelle stabilitet i ultrahøye temperaturmiljøer, sikrer det at utstyret kan fungere stabilt i lang tid under ekstremt tøffe forhold, og dermed effektivt forbedre produksjonseffektiviteten og kvaliteten på skiver.

Epitaksial vekstprosess: I epitaksiale prosesser somKjemisk dampavsetning (CVD)og Molecular Beam Epitaxy (MBE), CVD TAC belegg digel spiller en nøkkelrolle i å bære. Dets TAC -belegg kan ikke bare opprettholde den høye renheten av materialet under ekstrem temperatur og etsende atmosfære, men også effektivt forhindre forurensning av reaktantene på materialet og korrosjonen av reaktoren, noe som sikrer nøyaktigheten av produksjonsprosessen og produktkonsistensen.

Som Kinas ledende CVD TAC -belegg digelprodusent og leder, kan Vetek Semiconductor tilby tilpassede produkter og tekniske tjenester i henhold til dine utstyrs- og prosessbehov. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

Tantal karbid (TAC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt：

Fysiske egenskaper ved TAC -belegg：

Det halvleder CVD TAC belegg digelbutikker ：