EPI-mottakerdeler

Generell produktinformasjon

Forretningsvilkår for produkter

✔ Søknad: I jakten på ultimat ytelse og ytelse i SiC epitaksiale prosesser, gir Veteksemicon EPI Susceptor utmerket termisk stabilitet og ensartethet, og blir en nøkkelstøtte for å forbedre ytelsen til kraft- og RF-enheter og redusere de totale kostnadene.

✔ Tjenester som kan tilbys: kundeapplikasjonsscenarioanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning. 

✔ Bedriftsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team av eksperter med 20 års materialerfaring, med FoU og produksjon, testing og verifikasjonsevner.

Min rival EPI Contractor Part kjernefordeler

1. Sørg for ultimat enhetlighet

I epitaksiale prosesser av silisiumkarbid påvirker selv tykkelsessvingninger på mikronnivå og dopinginhomogeniteter direkte ytelsen og utbyttet til den endelige enheten. Veteksemicon EPI Susceptor oppnår optimal termisk feltfordeling i reaksjonskammeret gjennom presis termodynamisk simulering og strukturell design. Vårt utvalg av et substrat med høy termisk ledningsevne, kombinert med en unik overflatebehandlingsprosess, sikrer at temperaturforskjeller på ethvert punkt på waferens overflate kontrolleres innenfor et ekstremt lite område selv under høyhastighetsrotasjon og høytemperaturmiljøer. Den direkte verdien dette gir er et svært reproduserbart, batch-til-batch epitaksielt lag med utmerket ensartethet, som legger et solid grunnlag for produksjon av høyytelses, svært konsistente kraftbrikker.

2. Motstå utfordringen med høye temperaturer

SiC epitaksiale prosesser krever vanligvis langvarig drift ved temperaturer over 1500 °C, noe som utgjør en alvorlig utfordring for ethvert materiale. Veteksemicon Susceptor bruker spesialbehandlet isostatisk presset grafitt, hvis bøyestyrke ved høye temperaturer og krypemotstand langt overgår vanlig grafitt. Selv etter hundrevis av timer med kontinuerlig termisk syklus ved høye temperaturer, opprettholder vårt produkt sin opprinnelige geometri og mekaniske styrke, og forhindrer effektivt waferforvrengning, glidning eller forurensningsrisiko for prosesshulrom forårsaket av brettdeformasjon, noe som fundamentalt sikrer kontinuiteten og sikkerheten til produksjonsaktiviteter.

3. Maksimer prosessstabiliteten

Produksjonsavbrudd og ikke-planlagt vedlikehold er store kostnadsdrepere i wafer-produksjon. Veteksemicon anser prosessstabilitet som en kjerneverdi for Susceptor. Vårt patenterte CVD SiC-belegg er tett, ikke-porøst og har en speilaktig glatt overflate. Dette reduserer ikke bare partikkelavgivelsen under høytemperaturluftstrøm betydelig, men bremser også adhesjonen av reaksjonsbiprodukter (som polykrystallinsk SiC) til brettoverflaten betydelig. Dette betyr at reaksjonskammeret ditt kan forbli rent i lengre perioder, noe som forlenger intervallene mellom vanlig rengjøring og vedlikehold, og dermed forbedrer den generelle utstyrsutnyttelsen og gjennomstrømningen.

4. Forleng levetiden

Som en forbrukskomponent påvirker utskiftningsfrekvensen av susceptorer direkte produksjonskostnadene. Veteksemicon forlenger produktets levetid gjennom en dobbel teknologisk tilnærming: "substratoptimalisering" og "beleggforbedring." Et grafittsubstrat med høy tetthet og lav porøsitet bremser effektivt inntrengningen og korrosjonen av substratet av prosessgasser; Samtidig fungerer vårt tykke og jevne SiC-belegg som en robust barriere, som i betydelig grad undertrykker sublimering ved høye temperaturer. Testing fra den virkelige verden viser at under de samme prosessforholdene viser Veteksemicons susceptorer en langsommere ytelsesdegradering og en lengre effektiv levetid, noe som resulterer i lavere driftskostnader per wafer.

5. Økologisk kjedebekreftelse

Min rival EPI Susceptor Parts økologiske kjedeverifisering dekker råvarer til produksjon, har bestått internasjonal standardsertifisering, og har en rekke patenterte teknologier for å sikre påliteligheten og bærekraften i halvleder- og nye energifelt.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, white papers eller eksempler på testordninger, vennligst kontakt vårt tekniske støtteteam for å utforske hvordan Veteksemicon kan forbedre prosesseffektiviteten din.

Hovedapplikasjonsfelt

Min rival produkter lager