Høy renhet SiC wafer båtholder

Veteksemi High Purity Sic Wafer Boat Carrier er en viktig bærekomponent som brukes i annealing ovner, diffusjonsovner og annet utstyr i halvlederproduksjonsprosessen. SIC Wafer -bærer med høy renhet er vanligvis laget av silisiumkarbidmateriale med høy renhet og inkluderer hovedsakelig følgende deler:

• Båtstøttekropp: en struktur som ligner på en brakett, spesielt brukt til å bæreSilisiumskivereller andre halvledermaterialer.

• Støttestruktur: Desigstrukturdesignet gjør det mulig å bære tunge belastninger ved høye temperaturer og vil ikke deformere eller skade under behandling med høy temperatur.

Silisiumkarbidmateriale

Fysiske egenskaper tilOmkrystallisert silisiumkarbid：

Hvis kravene til produksjonsprosessen er høyere,Cvd sic beleggKan utføres på SIC Wafer Boat Carrier med høy renhet for å få renheten til å nå mer enn 99.99995%, noe som ytterligere forbedrer den høye temperaturmotstanden.

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg:

Under behandling med høy temperatur, gjør SIC Wafer -båtbæreren med høy renhet mulig for silisiumskiven å bli oppvarmet jevnt for å unngå lokal overoppheting. I tillegg gjør den høye temperaturmotstanden til silisiumkarbidmateriale det i stand til å opprettholde strukturell stabilitet ved temperaturer på 1200 ° C eller enda høyere.

Under diffusjons- eller glødingsprosessen jobber utkraget Padle og SiC Wafer Boat Carrier med høy renhet. Decantilever åreskyver sakte den høye renhet SIC Wafer Boat Carrier som bærer silisiumskiven inn i ovnkammeret og stopper den på en utpekt posisjon for prosessering. 

High purity SiC wafer båtbærer opprettholder kontakt med silisium wafer og er festet i en bestemt posisjon under varmebehandlingsprosessen, mens cantilever padle hjelper til med å holde hele strukturen i riktig posisjon samtidig som den sikrer jevn temperatur.

High purity SiC wafer-båtholderen og cantilever-padlen jobber sammen for å sikre nøyaktigheten og stabiliteten til høytemperaturprosessen.

VeTek Semiconductorgir deg tilpasset SiC wafer-båtbærer med høy renhet i henhold til dine behov. Ser frem til din henvendelse.

VeTek SemiconductorHøy renhet SiC wafer båttransport butikker: