TAC Coating Rotation Susceptor

Vetek Semiconductor TAC -beleggrotasjonsceptor er en nøkkelkomponent for håndtering av wafer i halvlederbehandling. Det erTac hvaVårHar utmerket toleranse med høy temperatur (smeltepek opp til 3880 ° C), kjemisk stabilitet og korrosjonsmotstand, som sikrer høy presisjon og høy kvalitet i skiven.

TAC -beleggrotasjonsceptor (tantal karbonbelegg rotasjonsmistens) er en nøkkelutstyrskomponent som brukes i halvlederbehandling. Det er vanligvis installert iKjemisk dampavsetning (CVD)og Molecular Beam Epitaxy (MBE) utstyr for å støtte og rotere skiver for å sikre ensartet materialavsetning og effektiv reaksjon. Denne typen produkt forbedrer levetiden og ytelsen til utstyret i høy temperatur og etsende miljøer ved å belegge underlaget medTantal karbon (TAC) belegg.

TAC -beleggingsrotasjonsmistens er vanligvis sammensatt av TAC -belegg og grafitt- eller silisiumkarbid som underlagsmateriale. TAC er et keramisk materiale med ultrahøy temperatur med ekstremt høyt smeltepunkt (smeltepunkt opp til 3880 ° C), hardhet (Vickers hardhet er omtrent 2000 HK) og utmerket kjemisk korrosjonsmotstand. Vetek halvleder kan effektivt og jevnt dekke tantal karbonbelegg på underlagsmaterialet gjennom CVD -teknologi.

Rotasjonsmistens er vanligvis laget av høy termisk ledningsevne og materialer med høy styrke (grafitt ellerSilisiumkarbid), som kan gi god mekanisk støtte og termisk stabilitet i miljøer med høy temperatur. Den perfekte kombinasjonen av de to bestemmer den perfekte ytelsen til TAC -beleggrotasjonsmistens for å støtte og rotere skiver.

TAC -beleggrotasjonsmottor støtter og roterer skiven i CVD -prosessen. Vickers -hardheten til TAC er omtrent 2000 HK, noe som gjør det i stand til å motstå gjentatt friksjon av materialet og spille en god birolle, og dermed sikre at reaksjonsgassen er jevnt fordelt på skivenoverflaten og materialet blir jevnt avsatt. Samtidig gjør den høye temperaturtoleransen og korrosjonsmotstanden til TAC -belegget det i stand til å brukes i lang tid i høy temperatur og etsende atmosfærer, som effektivt unngår forurensning av skiven og transportøren.

Dessuten er den termiske konduktiviteten til TAC 21 W/m · K, som har god varmeoverføring. Derfor kan TAC -beleggsrotasjonsceptor varme opp skiven jevnt under høye temperaturforhold og sikre enhetligheten av gassavsetningsprosessen gjennom rotasjonsbevegelse, og dermed opprettholde konsistensen og den høye kvaliteten påskivevekst.

Tantal karbid (TAC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt：

Fysiske egenskaper ved TAC -belegg：

TAC Coating Rotation Susceptor Shops: