Produkter
Cvd sic belegg epitaxy sensceptor
  • Cvd sic belegg epitaxy sensceptorCvd sic belegg epitaxy sensceptor
  • Cvd sic belegg epitaxy sensceptorCvd sic belegg epitaxy sensceptor

Cvd sic belegg epitaxy sensceptor

Vetek Semiconductors CVD SIC-belegg Epitaxy-sensekter er et presisjons-konstruert verktøy designet for halvlederhåndtering og prosessering. Denne SIC -beleggets epitaxy -sensekter spiller en viktig rolle i å fremme veksten av tynne filmer, epilag og andre belegg, og kan nøyaktig kontrollere temperatur og materialegenskaper. Velkommen dine videre henvendelser.

Veteksemicons CVD SIC Coating Epitaxy-masceptor er et presisjons-konstruert verktøy designet for halvleder av wafer-prosessering. Denne SIC -beleggets epitaxy -sensekter spiller en viktig rolle i å fremme veksten av tynne filmer, epilag og andre belegg, og kan nøyaktig kontrollere temperatur og materialegenskaper. Velkommen dine videre henvendelser.



GrunnleggendeFysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg
Eiendom
Typisk verdi
Krystallstruktur
FCC β -fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
Tetthet
3.21 g/cm³
Hardhet
2500 Vickers Hardness (500g belastning)
Kornstørrelse
2 ~ 10mm
Kjemisk renhet
99.99995%
Varmekapasitet
640 J · kg-1· K.-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Bøyestyrke
415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul
430 GPA 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk konduktivitet
300W · m-1· K.-1
Termisk utvidelse (CTE)
4,5 × 10-6K-1

CVD SIC belegg epitaxy sensceptor Produktfordeler:


● Presis deponering: SSCEPTOR kombinerer et sterkt termisk ledende grafittsubstrat med et SIC -belegg for å gi en stabil støtteplattform for underlag (for eksempel Sapphire, SIC eller GaN). Den høye termiske konduktiviteten (for eksempel SIC er omtrent 120 W/m · K) kan raskt overføre varme og sikre ensartet temperaturfordeling på underlagsoverflaten, og dermed fremme vekst av høy kvalitet av det epitaksiale laget.

● Redusert forurensning: SIC -belegget fremstilt av CVD -prosessen har ekstremt høy renhet (urenhetsinnhold <5 ppm) og er svært motstandsdyktig mot etsende gasser (som CL₂, NH₃), og unngår forurensning av det epitaksiale laget.

● Varighet: SICs høye hardhet (MOHS Hardness 9.5) og slitasje motstand reduserer det mekaniske tapet av basen under gjentatt bruk og er egnet for høyfrekvente halvlederproduksjonsprosesser.



Veteksemicon er opptatt av å tilby produkter av høy kvalitet og konkurransedyktige priser. Vi gleder oss til å være din langsiktige partner i Kina.


Det halvleder Produktbutikker:

graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


Hot Tags: Cvd sic belegg epitaxy sensceptor
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept