Solid SiC gassdusjhode

Solid Sic Gas Shower Head

VeTek Semiconductor er et integrert selskap dedikert til forskning, produksjon og salg. VeTek Semiconductor har jobbet med halvlederepitaksi, etsing og andre prosessrelaterte produkter i mange år, spesielt CVD SiC-belegg, CVD TaC-belegg og CVD Solid SiC er våre flaggskipprodukter.

VeTek Semiconductor Solid SiC gassdusjhode brukes ofte til å fordele forløpergasser jevnt på underlagets overflate under halvleder-CVD-prosesser. Å bruke CVD-SiC-materiale for dusjhoder gir flere fordeler. Dens høye termiske ledningsevne hjelper til med å spre varme som genereres i CVD-prosessen, og sikrer jevn temperaturfordeling på underlaget. I tillegg gjør CVD sic-dusjhodets kjemiske stabilitet det i stand til å motstå korrosive gasser og tøffe miljøer som ofte oppstår i CVD-prosesser. 

Utformingen av CVD SiC dusjhoder kan skreddersys til spesifikke CVD-systemer og prosesskrav. Imidlertid består de vanligvis av en plate- eller skiveformet komponent med en rekke presisjonsborede hull eller slisser. Hullmønsteret og geometrien er nøye utformet for å sikre jevn gassfordeling og strømningshastighet over underlagets overflate.

Fysiske egenskaper til solid SIC