Solid SiC Etching Fokusering Ring

VeTek Semiconductor har gjort store fremskritt innen CVD Solid SiC-teknologi og er nå i stand til å produsere Solid SiC Etching Focusing Ring med verdensledende nivå. VeTek Semiconductors Solid SiC Etching Focusing Ring er et silisiumkarbidmaterialeprodukt med ultrahøy renhet laget gjennom prosessen med kjemisk dampavsetning.

Solid SiC -etsningsfokuseringsring brukes i halvlederproduksjonsprosesser, spesielt i plasmaetsetingssystemer. SIC -fokusringen er en avgjørende komponent som hjelper til med å oppnå presis og kontrollert etsing av silisiumkarbid (SIC) skiver.

Under plasma -etsingsprosessen spiller fokusringen flere roller som følger:

● Fokuserer plasmaet: Den solide SiC-etsingsfokuseringsringen hjelper til med å forme og konsentrere plasmaet rundt waferen, og sikrer at etseprosessen skjer jevnt og effektivt. Det bidrar til å begrense plasmaet til ønsket område, og forhindrer etsing eller skade på de omkringliggende områdene.

●  Beskyttelse av kammerveggene: Fokuseringsringen fungerer som en barriere mellom plasmaet og kammerveggene, og forhindrer direkte kontakt og potensiell skade. SiC er svært motstandsdyktig mot plasmaerosjon og gir utmerket beskyttelse for kammerveggene.

●  Ttemperaturkontroll: Den sic fokusringen hjelper til med å opprettholde jevn temperaturfordeling over waferen under etseprosessen. Det hjelper til med å spre varme og forhindrer lokal overoppheting eller termiske gradienter som kan påvirke etseresultatene.

Solid SiC er valgt for fokusringer på grunn av sin enestående termiske og kjemiske stabilitet, høye mekaniske styrke og motstand mot plasmaerosjon. Disse egenskapene gjør SiC til et egnet materiale for de tøffe og krevende forholdene inne i plasmaetsesystemer.

Det er verdt å merke seg at utformingen og spesifikasjonene til fokusringene kan variere avhengig av det spesifikke plasmaetsesystemet og prosesskravene. VeTek Semiconductor optimerer formen, dimensjonene og overflateegenskapene til fokusringene for å sikre optimal etseytelse og lang levetid. Solid SiC er mye brukt for waferbærere, susceptorer, dummy wafer, guideringer, deler for etseprosesser, CVD-prosess, etc.