Hva er Notch on Wafers?

Silisiumskiverer grunnlaget for integrerte kretser og halvlederenheter. De har en interessant funksjon - flate kanter eller bittesmå riller på sidene .Det er ikke en defekt, men en bevisst designet funksjonell markør.Faktisk fungerer dette hakket som en retningsreferanse og identitetsmarkør gjennom hele produksjonsprosessen.

I de tidlige dagene brukte wafere for det meste en "flat" som markør, noe som betyr et kort rett segment som ble slipt på den sirkulære kanten. Plasseringen og antallet av disse leilighetene ble brukt til å skille krystallorienteringer og dopingtyper. Etter hvert som waferstørrelsen økte og prosesspresisjonen forbedret, har mainstream 200 mm og 300 mm wafere stort sett standardisert på en liten bueformet hakkdesign. Posisjonen til dette hakket er definert av standarder og er plassert i en fast orientering, brukt til å indikere skivens krystallorientering (for eksempel <100> eller <111>) og for å gi et felles referansepunkt for etterfølgende utstyr.

Hva er funksjonen til wafer-hakket? 

• For det første gir den en referanse for waferjustering. Nøkkeltrinn som litografi, etsing og ioneimplantasjon krever at flere mønsterlag stables. Hvis koordinatsystemet til hvert lag ikke er konsistent, vil de endelige enhetene bli feiljustert og skrotet. Ved å detektere hakkposisjonen kan utstyr raskt etablere et enhetlig koordinatsystem og deretter bruke justeringsmerker for å oppnå presis overlegg.
• For det andre koder den waferinformasjon. Ulike krystallorienteringer og forskjellige dopingtyper (som P-type og N-type) har distinkte materialegenskaper og designhensyn. Hakkorienteringen, kombinert med baksidemarkeringer og andre midler, gjør at produksjonslinjen raskt kan identifisere wafere under automatisert håndtering og sortering, og unngå forveksling mellom ulike produkttyper.
• For det tredje sikrer det sikkerhet ved automatisert håndtering. Moderne fabrikker bruker mye robotarmer og automatiserte materialhåndteringssystemer (AMHS). Disse systemene er avhengige av hakket for å bestemme for-/baksiden og orienteringen til skiven, og forhindrer feilbelastning eller flipping som ellers ville føre til tap av utbytte.

For enhets- og prosessingeniører kan hakket på en wafer se ubetydelig ut, men den går gjennom hele prosesskjeden fra krystalltrekking, epitaksi og waferfabrikasjon hele veien til forhåndspakkingstest. Når "retning" er involvert - krystallorientering, layoutjustering, spenningsorientering eller til og med strukturdesignet til visse kraftenheter - er denne lille geometriske markøren nesten alltid i bakgrunnen. Når du forstår rollen til hakket, blir det mye lettere å følge hvordan en wafer "beveger seg" gjennom produksjonslinjen og hvordan hvert prosesstrinn bygger sitt koordinatsystem rundt denne silisiumbiten.