Halvlederklasse kvarts klokkekrukke

Halvlederkvartsklokke krukke er laget av kvartsmateriale med høy renhet. Den har utmerket termisk stabilitet og sterk korrosjonsmotstand, og brukes på mange felt. I halvlederindustrien: Halvlederkvartsklokke -krukke gir et kontrollert miljø for tynn filmavsetning på skiver under kjemisk dampavsetning (CVD). Semiconductor Grade Quartz Bell Jar brukes også i prosesser som krever vakuumteknologi, for eksempel produksjon av optiske belegg, metallbelegg og andre typer tynnfilmmaterialer. Semiconductor Grade Quartz Bell Jar er også nødvendig i mange fysiske og materialvitenskapelige eksperimenter som krever en høy renhet, vakuumforseglede miljø.

Bruksscenarier for halvlederindustrien:

Polysilisium er et silisiummateriale sammensatt av mange små korn, som er mye brukt i integrerte kretser, solceller og andre felt. Kjemisk dampavsetning (CVD) er en av hovedmetodene for å fremstille polykrystallinsk silisium. Grunnprinsippet er at silisiumkildegassen, slik som SiH4, spaltes ved høy temperatur og avsettes på underlaget for å danne polykrystallinsk silisium:

Sihcl3 + h2 ⇒ si + 3hcl

Under høye temperatur- og vakuumforhold ble silisiumkildegassen matet inn i den kjemiske dampavsetningen. Polykrystallinsk silisium er endelig oppnådd. Semiconductor Grade Quartz Bell Jar er en viktig del av den polykrystallinske silisium CVD-reaktoren.

Polykrystallinsk silisium CVD-reaktor

Under den høye temperaturreaksjonen av CVD, kan kvartsklokke -klokkekurkokken til halvleder gi et jevnt termisk miljø. Den høye temperaturmotstanden for kvartsmateriale med høy renhet (tåler temperaturer opp til ca. 1100 ° C) gjør det mulig å fungere stabilt i CVD -reaksjoner og sikre jevn temperaturfordeling i reaksjonsområdet. I CVD -prosessen er det mange giftige gasskomponenter, for eksempel PH3, etc. Halvlederkvartsklokke -krukke kan effektivt isolere de kjemiske gassene i reaksjonskammeret fra det ytre miljø for å forhindre skadelig gasslekkasje. Korrosjonsmotstanden til kvartsmateriale med høy renhet gjør det også mulig for andre materialer å fungere stabilt i lang tid under CVD -prosessen og er ikke lett korrodert eller skadet.

Kvartsklokkebeholderen brukes i forbindelse med kvartsvarmekonserveringsrøret og den vertikale kvartsbåten, og brukes mest i den epitaksiale prosessen med produksjon av integrerte halvlederkretsbrikker. Epitaksialovnen har generelt en vertikal struktur, med kvartsklokkekrukken på utsiden av den vertikale kvartsbåten og kvartsvarmekonserveringsrøret som støtte.

En annen typisk bruk av halvlederkvalitets kvartsklokke i høytemperaturmiljøer: For å varme opp en gruppe kjeveortopedisk deler til 704 ℃ innen 1 sekund i en inert atmosfære for lodding:

VeTek Semiconductor har et modent teknisk team. Uansett hvilken form eller materiale av High Purity Quartz Bell Jar du trenger, kan vi skreddersy den for deg.

VeTek Semiconductor-produkter butikker: