Keramisk elektrostatisk chuck

Produksjonsprosesser for halvleder, spesielt wafer -prosessering, utføres i et vakuummiljø, og mekanisk klemmer skiver bærer 

visse risikoer. Når kraften er konsentrert om klemmepunktet, kan sprø silisiumskiver kaste bittesmå fragmenter, noe som forårsaker alvorlig skade på skivproduksjonen.

I dette tilfellet blir den keramiske elektrostatiske chuck et bedre valg, som fikser skiven med elektrostatisk kraft. Den elektrostatiske kraften virker jevnt på skiven, slik at skiven kan fikses flatt, noe som forbedrer nøyaktigheten av prosessen.

I henhold til relevante forskningsartikler har keramisk elektrostatisk chuck sterkere sug enn andre elektrostatiske chucks. For eksempel har keramisk elektrostatisk chuck mye sterkere sug enn kjæledyrfilm elektrostatisk chuck.

Keramikk Chuck er vanligvis laget av keramiske materialer med høy ytelse som AL2O3, ALN eller SIC, som har høy varmebestandighet, isolasjon og korrosjonsmotstand. Porøs Sic keramisk chuck er ikke bare stabil ved ekstreme temperaturer, men forhindrer også effektivt keramisk e-chuck fra nedbrytning på grunn av kjemiske reagenser og plasma-etsing under produksjonsprosessen.

Temperaturkontroll: Den høye varmeledningsevnen og stabile termiske egenskapene til keramiske materialer gjør det mulig for aluminiumoksyd keramisk vakuum chuck å effektivt kontrollere temperaturen, og dermed optimalisere temperaturfordelingen under prosessen.

Vakuumtilpasningsevne: Keramisk elektrostatisk chuck er egnet for vakuummiljøer, spesielt i lavtrykks- og høypresisjonsetingsprosesser.

Lav partikkelgenerering: Porøs SiC keramisk e-chuck har en jevn overflate, som kan redusere partikkelforurensning under skivefesting og bidra til å forbedre produktutbyttet.

Bruksområde: Hovedsakelig brukt i halvlederproduksjon, avtakbar keramisk elektrostatisk chuck som gir presis posisjonering og stabilitet, noe som er veldig nyttig for litografi, etsing og andre produksjonsprosesser for halvleder. Forsikre deg om at skiven er intakt under prosessering og forbedrer kvaliteten på brikkeproduksjonen.

Det halvlederKeramiske e-chuck produksjonsbutikker: