Hva er en elektrostatisk chuck (ESC)?

Den elektrostatiske chuck (ESC), også kjent som den elektrostatiske chuck (ESC, E-Chuck), er en inventar som bruker prinsippet om elektrostatisk adsorpsjon for å holde og fikse det adsorberte materialet. Det er egnet for vakuum- og plasmamiljøer. Hovedfunksjonen er å adsorbere ultra-Rene tynne ark (for eksempel silisiumskiver) og hold det adsorberte materialet i en god flathet, som også kan hemme deformasjonen av det adsorberte materialet under prosessen, og det kan justere temperaturen på adsorbatet.

En elektrostatisk chuck (ESC) er en spesiell type chuck som bruker elektrostatisk kraft for å holde, trykke og hente gjenstander (arbeidsstykker). Ethvert materiale bærer positive og negative ladninger som er usynlige for det blotte øye. Når materialet er plassert på ESC og en bipolar spenning påføres de indre elektrodene til ESC, vil positive og negative ladninger bevege seg innenfor materialet for å matche polariteten til de indre elektrodene til ESC. Denne attraksjonen mellom ESC og materialet kalles elektrostatisk kraft og er også det grunnleggende prinsippet bak våre chucks.

Produktfordeler

Den har et bredt driftstemperaturområde (-50 til 700 ℃)

Disse elektrostatiske sugekoppene har utmerket styrke, termisk ledningsevne og termisk sjokkmotstand, og kan tilpasse seg et bredt temperaturområde gjennom NGKs proprietære keramiske volumresistivitetskontroll.

Høy korrosjonsmotstand

Disse elektrostatiske sugekoppene har utmerket korrosjonsresistens mot halogengasser.

Prosessering med lav partikkel

Behandling med lav partikkel kan oppnås gjennom overflatebehandling og spesiell rengjøring

Høy renhet

Produkter med en renhet på 99,9% eller høyere er også tilgjengelige.

Oppvarmingsfunksjon

Høyt presisjonsoppvarmingselement innebyggingsteknologi kan integreres med varmeapparatfunksjonen, og skivetemperaturen kan kontrolleres innen ± 1%.

Kjølefunksjon

Disse elektrostatiske sugekoppene har ekstremt høy kjøleytelse ved å binde keramiske plater med høy termisk ledningsevne og kjøleplater.

Radiofrekvenselektrode

Bulkmetallelektroder kan samtidig gi stabil klokkeklemme og generering av radiofrekvens.

PArameter

1.Innen halvleder og elektronisk produksjon: Under halvleder- og elektroniske produksjonsprosesser brukes elektrostatiske sugekopper til å fikse og håndtere tynne og skjøre silisiumskiver, skiver, etc. fordelene ligger i sterk adsorpsjonskraft, ingen mekanisk stress og enkel drift, noe som effektivt forbedrer produksjonseffektiviteten og produktet.

2. Glass- og keramikkindustri: Under prosessene med skjæring, sliping og håndtering av glass og keramikk, kan elektrostatiske sugekopper utføre ikke-destruktive operasjoner på sprø materialer, noe som reduserer produktbrudd.

3. Produksjon av presisjonsmaskiner og optiske komponenter: For presisjonsmaskiner og optiske komponenter kan elektrostatiske sugekopper gi stabil adsorpsjonskraft, forhindre deformasjon eller riper under prosessering.

4. Automatiserte produksjonslinjer: I automatiserte produksjonslinjer brukes elektrostatiske sugekopper mye i posisjonering, håndtering og montering av deler, etc., og forbedrer graden av automatisering og effektivitet i produksjonslinjen.