Høy renhet kvarts skivebåt

VeTek Semiconductors High Purity Quartz Wafer Boat er laget av ultra-høy renhet kvarts, som har egenskapene til lavt hydroksylinnhold, høy renhet og sterk motstand mot høye temperaturer. Dette materialet er også mye brukt i halvlederindustrien som materiale for diffusjonsovner og CVD-ovnskomponenter. Som en beholder for å bære silisiumskiver, har High Purity Quartz-båtwafer blitt brukt i halvleder-, solcelle-, kjemiske og andre felt.

Applikasjonsscenarier

Først er halvlederfeltet. Varmebehandlingsprosessen til skiver er veldig viktig, inkludert termisk oksidasjon, diffusjon, annealing osv. Gjennom varmebehandlingsprosessen gir vi skiverne nye egenskaper.

Batchovn -kjernerør brukes til halvlederbehandlingsprosesser som termisk oksidasjon, diffusjon av høy temperatur, annealing og tynn filmavsetning. Batchvarmeovnen brukes hovedsakelig til å varme opp ovnlegemet av spoler for å fullføre varmebehandlingen. I henhold til de forskjellige arbeidsstrukturene kan batchovn -kjernrør deles inn i horisontale ovner og vertikale ovner:

(1) Den høye renhetskvartsbåt av den horisontale ovnen er plassert horisontalt, så den kalles en horisontal ovn.

I varmebehandlingsprosessen er skiven lastet på skivebåt med høy renhet, sakte sendt inn i kvartsovnøret, og skiven er plassert i en konstant temperatursone for behandling. Etter å ha ventet på at prosessen skal fullføres, trekkes skiven som ble brukt kvartsbåt sakte ut av kvartsovnen for å forhindre at skiven blir skadet på grunn av plutselige temperaturendringer. Horisontale ovner er mye brukt i diffusjonsprosessen til integrerte kretsløp med skivediametre mindre enn 200 mm. 

Fordelene med horisontale ovner er enkel prosess, god ensartethet mellom skiver og evnen til å behandle flere skiver samtidig. Ulempene er langsom varmehastighet, stor utstyrsstørrelse, vanskeligheter med automatisering og enkel inntreden av ekstern luft når du laster og losset skiver.

(2) Den høye renhetskvartsbåten til den vertikale ovnen er plassert vertikalt, så den kalles en vertikal ovn.

Waferen lastes på kvartstårnet og stiger sakte til kvartsovnsrøret for oppvarming. Under oppvarmingsprosessen vil High Purity Quartz Wafer Boat sakte rotere for å sikre at waferen blir jevnt oppvarmet. Etter bearbeiding vil kvartstårnet sakte synke for å unngå temperaturendringer som kan forårsake waferskader. Vertikale ovner brukes hovedsakelig i den integrerte kretsprosessen av 200 mm og 300 mm diameter wafere. Kjerneteknologien til vertikale ovner ligger i høypresisjon temperaturfeltkontroll, partikkelkontroll, mikro-miljø mikro-oksygenkontroll og motorisering. Fordelene med vertikale ovner er tynt naturlig oksidlag, god ensartethet, enklere automatisering, lite utstyrsfotavtrykk og batchbehandling. Ulempen er at oppvarmingshastigheten er lav.

På solcellefeltet krever produksjonsprosessen av solcelleceller kvartsbåter for å frakte og transportere silisiumskiver i høytemperaturdiffusjonsprosessen. Høytemperaturbehandling i en nitrogen-, oksygen- eller annen inert gassatmosfære med høy renhet, slik som fosfordiffusjon eller bortdiffusjon, er et viktig trinn i produksjonsprosessen for solceller. Hensikten er å danne et PN-kryss på silisiumplaten.

Kvartsbåten har nøyaktig designet spor inni for å sikre at silisiumskiven opprettholder den nøyaktige posisjonen under diffusjonsprosessen med høy temperatur og er jevn oppvarmet. Fordi kvartsmaterialet har god høye temperaturresistens og kjemisk stabilitet, vil det ikke forurense silisiumskiven, noe som bidrar til å opprettholde en høy renslighet i produksjonsmiljøet.

Som en innovatør og leder i Kinas Wafer brukte kvartsbåtmarked, enten du er engasjert i halvlederindustrien eller solcelleindustrien, så lenge du trenger High purity Quartz Wafer Boat, vennligst be oss om et tilbud og vi vil være i stand til å skreddersy det for deg i henhold til dine behov.

Det halvleder produktbutikker: