CVD SiC Coated RTP Susceptor

Funksjoner

• Termisk enhetlighet - Materialets høye termiske diffusivitet muliggjør rask, romlig jevn varmeoverføring, og støtter repeterbare wafertemperaturprofiler.
• Høyt renhetsnivå – CVD SiC-belegget oppnår en renhet på 99,99995 %, og reduserer effektivt risikoen for forurensning av mobile ioner og metaller i kritiske prosesstrinn.
• Kjemisk holdbarhet – Belegget viser sterk motstand mot korrosive stoffer, inkludert halogenbaserte gasser, under høye temperaturer.l Forlengede serviceintervaller – Forbedret oksidasjons- og slitestyrke gir færre utskiftninger og redusert verktøystans.
• Designfleksibilitet – Dimensjoner og konfigurasjoner kan tilpasses for å matche spesifikke RTP-kammergeometrier og waferstørrelser.

Søknader

• Rask termisk prosessering (RTP)
• Rask termisk gløding (RTA)
• Dopant aktivering. Oksidasjons- og utglødningstrinn
• Produksjon av integrerte kretser (IC).
• Produksjon av kraftenhetTeknisk

Spesifikasjoner

Hvorfor velge VeTek Semiconductor?

· Intern CVD SiC-beleggingsprosess utviklet spesielt for krav til halvlederkvalitet.

· Integrerte funksjoner for grafittrensing, presisjonsmaskinering og kontroll av beleggtykkelse.

· Påvist beleggheft og jevnhet i lag på tvers av batchproduksjon.

· Teknisk støtte for tilpassede susceptordesigner som er kompatible med store RTP-verktøyplattformer.

· Strenge inspeksjon av innkommende materiale, prosessovervåking og endelig kvalifikasjonstesting sikrer konsistens fra batch-til-batch.