Alumina keramisk vakuum chuck

Aluminiumoksyd keramisk vakuum chuck er en waferholder for epitaksiale prosesser i halvlederbehandling. Det er et sentralt verktøy for å stabilisere skiver og sikre ensartet vekst av epitaksiale lag. Det er mye brukt i epitaksialt utstyr somMOCVDogLPCVD.

Vetek halvleder aluminiumoksyd keramisk vakuum chuck spiller en viktig rolle i skiven tynnings- og slipetrinn i halvlederproduksjon. Disse stadiene innebærer nøyaktig å redusere tykkelsen påWafer -underlagFor å forbedre spredning av brikkevarme, noe som er avgjørende for å forbedre effektiviteten og levetiden til halvlederenheter.

Kompatibel med flere skivestørrelser: Vetek Semiconductor aluminiumoksyd keramisk vakuum chuck er designet for å støtte et bredt spekter av skivestørrelser, inkludert 2, 3, 4, 5, 6, 8 og 12 tommer. Denne tilpasningsevnen gjør den egnet for en rekke halvlederproduksjonsmiljøer, og sikrer jevn og pålitelig ytelse på tvers av forskjellige skivestørrelser.

Overlegen materialkomposisjon: Basen til aluminiumoksyden keramisk vakuum chuck er laget av ultra-pure 99.9999% aluminiumoksyd (Al₂O₃), som gir utmerket motstand mot kjemisk angrep og termisk stabilitet. Chuck -overflaten er laget av porøssilisiumkarbid (sic). Det porøse keramiske materialet har en tett og ensartet struktur, som forbedrer holdbarheten og ytelsen.

Fordeler medPorøs keramisk teknologi：

Materiell renhet og holdbarhet: Laget av 99,99% ren aluminiumoksyd, motstår vår aluminiumoksyds keramiske vakuum chuck kjemisk angrep og tilbyr utmerket termisk stabilitet, noe som gjør det ideelt for ekstremt krevende produksjonsmiljøer.

Optimal porøsitet og luftpermeabilitet: Jevnt distribuerte mikroporer gir utmerket luftpermeabilitet og ensartet adsorpsjonskraft, noe som resulterer i jevn og konsekvent drift.

Forbedret flathet og parallellisme: Mikroporøs aluminiumoksyd keramisk vakuum chucks har utmerket flathet og parallellisme, noe som sikrer presis håndtering og stabilitet i skiven.

Tilpassede servicefunksjoner: Veteksemi kan gi en rekke tilpassbare former, inkludert runde, firkantede, ring og andre design, med tykkelse fra 3mm til 10 mm. Denne tilpasningen sikrer at våre aluminiumoksyd keramiske vakuum chucks oppfyller de spesifikke behovene til forskjellige halvlederproduksjonsprosesser og er definitivt ditt ideelle valg.

Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby avansert teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien, og vi håper inderlig å være din langsiktige partner i Kina.

DeKjemisk formel avAlumina keramikk：

Det halvlederAlumina keramisk vakuum chuck -butikker: