Aixtron G10 Solid SiC planetreaktorkomponenter

1. Nøkkelfunksjoner og fordeler

• Helt tett, bindemiddelfri Solid SiC-struktur for overlegen slitasje- og korrosjonsbestandighet

• Utmerket termisk ledningsevne og termisk støtmotstand ved temperaturer over 1500 °C

• Ultralav partikkelgenerering og høy renhet, minimerer forurensningsrisiko

• Enestående kjemisk inerthet mot prosessgasser brukt i SiC-epitaksi

• Lang levetid ved gjentatt sykling ved høye temperaturer

• Presisjonsmaskinert til stramme dimensjonstoleranser for pålitelig passform og prosessstabilitet

 2. Typiske bruksområder

Dette Solid SiC-tilbehøret brukes i nøkkelfunksjonelle områder av Aixtron G10-reaktoren, inkludert:

• Dekkplater og utvalgte dekkelementer

• Beskyttelsesringer og slitesterke komponenter

• Presisjonsstifter, skiver og små strukturelle deler

• Andre spesialtilpassede innsatser med høy renhet utsatt for intens gassstrøm eller termisk belastning

De støtter stabil temperaturfordeling, jevn gasslevering og lav defekttetthet under høyvolum SiC epitaksial vekst for strøm-MOSFET-er, dioder og relaterte enheter med bredt båndgap.

3. Hvorfor velge VeTek Solid SiC for Aixtron G10?

Som en spesialisert produsent av materialer av halvlederkvalitet, tilbyr VeTek Semiconductor:

• Solid SiC-komponenter med høy renhet skreddersydd for Aixtron G10-systemer, for eksempel: Dekkring，Indre/ytre deksler，nedtrekkende/støtteplate，Satelittskive，susceptor

• Streng renhetskontroll og presisjon CNC-bearbeiding

• Komplementære løsninger inkludert CVD SiC-belagt grafitt og TaC-belagte deler for fullstendig termisk feltdekning

• Tilpasset design tilpasset spesifikke prosessforhold og reaktorkonfigurasjoner

Vårt Solid SiC-tilbehør hjelper kundene med å maksimere produktivitetsfordelene til Aixtron G10-plattformen – høy wafer-utgang, utmerket tykkelse og dopinguniformitet og konkurransedyktige eierkostnader – samtidig som de forlenger komponentens levetid og reduserer partikkelrelatert utbyttestap.