Tantal karbidbeleggstøtte

Hovedfunksjonen til Vetek SemiconductorTantal karbid (TAC) beleggStøtte er å forbedreVarmemotstand, slitestyrke og korrosjonsmotstandav underlaget ved å belegge et lag med tantal karbidbelegg, for å forbedre nøyaktigheten og påliteligheten til prosessen og forlenge komponentene. Det er et høyytelsesbeleggprodukt som brukes innen halvlederbehandling.

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor har en MOHS -hardhet på nesten 9 ~ 10, bare andre til diamant. Den har ekstremt sterk slitestyrke og kan effektivt motstå overflateslitasje og påvirkning under prosessering, og dermed effektivt forlenge levetiden til utstyrskomponenter. Kombinert med det høye smeltepunktet på omtrent 3880 ° C, brukes det ofte til å belegge nøkkelkomponenter av halvlederutstyr, for eksempel overflatebelegg av støttestrukturer, varmebehandlingsutstyr, kamre eller pakninger i halvlederutstyr for å forbedre slitestyrken og høy temperaturmotstand.

På grunn av det ekstremt høye smeltepunktet med tantalkarbid på ca. 3880 ° C, i halvlederbehandlingsprosesser som for eksempel somKjemisk dampavsetning (CVD)ogphysical vapor deposition (PVD), TAC -belegg med sterk høy temperaturmotstand og kjemisk korrosjonsmotstand kan effektivt beskytte utstyrskomponenter og forhindre korrosjon eller skade på underlaget i ekstreme miljøer, og gi effektiv beskyttelse for høye temperaturmiljøer i Wafer -produksjonen. Denne funksjonen bestemmer også at Vetek Semiconductors Tantalum -karbidbeleggstøtte ofte brukes i etsing og etsende prosesser.

Tantal karbidbeleggstøtte har også funksjonen for å redusere partikkelforurensning. Under prosessering av skive produserer overflateslitasje vanligvis partikkelforurensning, noe som påvirker produktkvaliteten til skiven. TAC-beleggets ekstreme produktegenskaper ved nærmere 9-10 MOHS-hardhet kan effektivt redusere denne slitasjen, og dermed redusere generering av partikler. Kombinert med TAC -beleggets utmerkede varmeledningsevne (ca. 21 W/m · K), kan den opprettholde god termisk ledningsevne under høye temperaturforhold, og dermed forbedre utbyttet og konsistensen av Wafer -produksjonen.

Vetek Semiconductors viktigste TAC -beleggprodukter inkludererTAC beleggvarmer, CVD TAC belegg digel, TAC Coating Rotation SusceptorogTAC Coating Spare delosv., Og støtte tilpassede produkttjenester. Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby utmerkede produkter og tekniske løsninger for halvlederindustrien. Vi håper inderlig å bli din langsiktige partner i Kina.

Tantal karbid (TAC) belegg på et mikroskopisk tverrsnitt:

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD TAC -belegg：