Solid SiC-skiveformet dusjhode

Rollen til det faste SIC-skivformede dusjhodet i CVD-prosessen er å fordele reaksjonsgassen jevnt over deponeringsområdet slik at gassen kan diffuses jevnt over hele reaktoren for å oppnå en flat og ensartet film.

Det faste SiC -dusjhodet er satt øverst på CVD -ovnen eller i nærheten av gassinnløpet. Reaksjonsgassen kommer inn i den skivformede strukturen gjennom hullene fordelt på dusjhodet og diffunderer seg rundt langs overflaten av dusjhodet. Gjennom flere kanals design og jevnt distribuerte utsalgssteder kan reaksjonsgassen flyte jevnt til hele reaktorområdet, unngå konsentrasjon eller turbulens, og sikre konsistensen av lagtykkelsen som er avsatt på underlaget.

Samtidig har strukturen til halvlederskivsformdusjhodet også en diffusjonseffekt, som effektivt kan redusere strømningshastigheten på gassen, slik at den kan diffunderes jevnt ved dysutløpet, og redusere effekten av lokale gasstrømendringer på deponeringseffekten. Det hjelper til med å unngå direkte gasspåvirkning på underlaget og forhindre problemet med ujevn avsetning.

Fra materialers perspektiv er det faste SIC-gasshodet laget av høye temperaturbestandig, korrosjonsbestandig og høy styrke solid SIC-materiale med veldig høy stabilitet. Det kan fungere stabilt i lang tid i CVD -ovnen og har en lang levetid.

Vetek Semiconductor tilbyr tilpassede tjenester av høy kvalitet. Formen og hulloppsettet til det faste SIC-skiveformede dusjhodet kan justeres fleksibelt i henhold til kundens prosesskrav for å tilpasse seg forskjellige gasstyper, strømningshastigheter og deponeringsmaterialer. For forskjellige størrelser av reaktorer eller underlagsstørrelser, kan skiveformede dusjhoder med forskjellige diametre og hullfordelinger tilpasses for å optimalisere gassfordelingseffekten.

Vetek Semiconductor har modne prosesser og avanserte teknologier for solide SIC -halvleder dusjhodeprodukter, og hjelper et stort antall kunder til å oppnå kontinuerlig fremgang i CVD -prosesser. Vetek Semiconductor ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Fysiske egenskaper til solid SIC

Det halvlederSolide SIC-skiveformede dusjhodeproduksjonsbutikker