Produkter

Silisiumkarbidbelegg

VeTek Semiconductor spesialiserer seg på produksjon av ultrarene silisiumkarbidbeleggprodukter, disse beleggene er designet for å påføres renset grafitt, keramikk og ildfaste metallkomponenter.


Våre belegg med høy renhet er primært rettet mot bruk i halvleder- og elektronikkindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mot korrosive og reaktive miljøer som oppstår i prosesser som MOCVD og EPI. Disse prosessene er integrert i wafer-prosessering og enhetsproduksjon. I tillegg er beleggene våre godt egnet for bruk i vakuumovner og prøveoppvarming, der miljøer med høyt vakuum, reaktive og oksygen forekommer.


Hos VeTek Semiconductor tilbyr vi en omfattende løsning med våre avanserte maskinverksteder. Dette gjør oss i stand til å produsere basiskomponentene ved hjelp av grafitt, keramikk eller ildfaste metaller og påføre SiC eller TaC keramiske belegg internt. Vi tilbyr også beleggtjenester for kundeleverte deler, noe som sikrer fleksibilitet for å møte ulike behov.


Våre silisiumkarbidbeleggprodukter er mye brukt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-prosess, etseprosess, ICP/PSS-etseprosess, prosess av forskjellige LED-typer, inkludert blå og grønn LED, UV LED og dyp-UV LED etc.,som er tilpasset utstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordeler vi kan gjøre:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Silisiumkarbidbelegg flere unike fordeler:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
SiC-belegg Tetthet 3,21 g/cm³
SiC-belegg Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøyning, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300 W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM KRYSTALL STRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Sic belagt e-chuck

Sic belagt e-chuck

Vetek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av SIC-belagte e-chucks i Kina. SIC-belagt E-Chuck er spesialdesignet for GaN Wafer-etsingsprosess, med utmerket ytelse og lang levetid, for å gi allround støtte for din halvlederproduksjon. Vår sterke prosesseringsevne gjør oss i stand til å gi deg den SIC keramiske masceptoren du ønsker. Ser frem til din forhør.
SiC ICP etsningsplate

SiC ICP etsningsplate

Vetek Semiconductor gir høyytelses-SIC ICP-etsningsplater, designet for ICP-etsningsapplikasjoner i halvlederindustrien. Dens unike materialegenskaper gjør det mulig å fungere godt i høye temperaturer, høyt trykk og kjemiske korrosjonsmiljøer, noe som sikrer utmerket ytelse og langsiktig stabilitet i forskjellige etsingsprosesser. Som en ledende produsent og leverandør av SIC ICP-etseplate i Kina, ser Vetek Semiconductor frem til å bli din langsiktige partner.
Grafittvarmeenhet

Grafittvarmeenhet

Vetek Semiconductor grafittvarmeenhet er en industriell oppvarmingsløsning med høy ytelse laget av grafittmateriale med høy renhet, som kan gi presis og effektiv varmeeffekt. Grafittvarmeenhet er mye brukt innen halvleder, elektronikk, keramikk og andre felt. Velkommen din videre henvendelse.
SiC belagt dyp UV LED -følger

SiC belagt dyp UV LED -følger

SIC -belagt dyp UV -LED -sensertor er designet for MOCVD -prosess for å støtte effektiv og stabil dyp UV -LED -epitaksial lagvekst. Vetek Semiconductor er en ledende produsent og leverandør av SIC -belagt dyp UV LED -sensekter i Kina. Vi har rik erfaring og har etablert langsiktige samarbeidsrelasjoner med mange LED-epitaksiale produsenter. Vi er den beste innenlandske produsenten av Susceptor-produkter for LED-er. Etter mange års verifisering er produktets levetid på nivå med den fra internasjonale produsenter. Ser frem til din henvendelse.
LED Epitaxy Providence

LED Epitaxy Providence

Vetek Semiconductors LED Epitaxy -mottaker er designet for blå og grønn LED -epitaksial produksjon. Den kombinerer silisiumkarbidbelegg og SGL -grafitt, og har høy hardhet, lav ruhet, god termisk stabilitet og utmerket kjemisk stabilitet. LED Epitaxy -sensekter er en av Vetek Semiconductors mest fremragende produkter. Vi ser frem til din henvendelse.
Høy renhet cvd sic råstoff

Høy renhet cvd sic råstoff

CVD SIC råstoff med høy renhet fremstilt av CVD er det beste kildematerialet for silisiumkarbidkrystallvekst ved fysisk damptransport. Tettheten av høy renhet CVD Sic råstoff levert av Vetek Semiconductor er høyere enn for små partikler dannet ved spontan forbrenning av Si og C-holdige gasser, og den krever ikke en dedikert sintringsovn og har en nesten konstant fordampningshastighet. Det kan vokse ekstremt høy kvalitet SIC enkeltkrystaller. Ser frem til din henvendelse.
Som profesjonell Silisiumkarbidbelegg produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidbelegg laget i Kina, kan du gi oss en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept