MOCVD SiC-belagt susceptor

Tekniske parametere

CVD SIC FILM KRYSTALL STRUKTUR

Produktdefinisjon og sammensetning

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor er en førsteklasses wafer-bærende komponent konstruert spesielt for epitaksial prosessering av tredjegenerasjons halvledere, som GaN og SiC. Dette produktet integrerer de overlegne fysiske egenskapene til to høyytelsesmaterialer:

Høyrent grafittsubstrat: Produsert ved hjelp av isostatisk presseteknologi for å sikre at basismaterialet har eksepsjonell strukturell integritet, høy tetthet og termisk prosesseringsstabilitet.

CVD SiC belegg: Et tett, stressfritt beskyttelseslag av silisiumkarbid (SiC) dyrkes på grafittoverflaten gjennom avansert teknologi for kjemisk dampavsetning (CVD).

Hvorfor VETEK er din avkastningsgaranti

Ultimate presisjon i termisk enhetskontroll: I motsetning til konvensjonelle bærere, oppnår VETEK-susceptorer svært synkronisert varmeoverføring over hele overflaten gjennom nanometerskala presisjonskontroll av beleggtykkelse og termisk motstand. Denne sofistikerte termiske styringen minimerer effektivt bølgelengdestandardavvik (STD) på waferoverflaten, noe som øker både kvaliteten på enkeltwaferen og den generelle batchkonsistensen betydelig.

Langtidsbeskyttelse uten partikkelforurensning: I MOCVD-reaksjonskamre som inneholder svært korrosive gasser, er vanlige grafittsøyler utsatt for partikkelflaking. VETEKs CVD SiC-belegg har eksepsjonell kjemisk treghet, og fungerer som et ugjennomtrengelig skjold som forsegler grafittmikroporer. Dette sikrer total isolasjon av urenheter i underlaget, og forhindrer enhver forurensning av GaN- eller SiC-epitaksiallagene.

Eksepsjonell utmattelsesmotstand og levetid:Takket være VETEKs proprietære grensesnittbehandlingsprosess, oppnår SiC-belegget vårt en optimalisert termisk ekspansjonsmatch med grafittsubstratet. Selv under høyfrekvent termisk syklus mellom ekstreme temperaturer, opprettholder belegget overlegen vedheft uten å flasse eller utvikle mikrosprekker. Dette reduserer hyppigheten av vedlikehold av reservedeler betydelig og reduserer de totale eierkostnadene.

Vårt verksted