8-tommers CVD silisiumkarbid (SiC) belagt epitaksy toppring

Nøkkelfunksjoner til 8-tommers SiC Epi-toppring

● Høy renhet: 99,9995 % minimum. Metall vil ikke migrere inn i epi-laget. Dette holder wafer-bærerkonsentrasjonen der den skal være.

● Partikkelundertrykkelse: CVD-strukturen er tett. Ingen porer. Det vil ikke kaste partikler mens verktøyet kjører. Fabrikker ser bedre utbytte på denne måten.

● Varmebestandighet: Ringen holder seg stabil ved 1500°C. Lav CTE (termisk ekspansjon) betyr ingen vridning under raske oppvarmings-/nedkjølingssykluser.

● Kjemisk stabilitet: Fast CVD SiC motstår H2- og HCl-gasser. Den motstår også NH3. Den har ikke noe belegg som kan skrelles av. Det brytes ikke ned i tøffe CVD-miljøer.

● Komponentlevetid: Overflaten er ekstremt hard. Den overlever gjentatt HF/HCl kjemisk rengjøring. Dette reduserer utskiftningsfrekvensen. Det reduserer også de totale eierkostnadene for fabrikken.

Tekniske spesifikasjoner

Ensartetheten av beleggtykkelsen mellom batcher kontrolleres ved 10um

Søknader

CVD SiC epi toppringen er mye brukt i:

● Silisiumepitaksi (Si Epi) reaktorer

● Silisiumkarbidepitaksi (SiC Epi)

● MOCVD-systemer

● CVD-deponeringsutstyr

Vanligvis sammenkoblet med:

● Susceptorer

● Waferbærere

● Forvarm ringene

● Epitaksereaktorer

Hvorfor bruke VETEK SiC Epi Top Ring?

● Full produksjonskapasitet: 

Fra rensing av råvarer til presisjonsmaskinering og CVD-belegg, kontrollerer VETEK hele produksjonsprosessen for å sikre konsistent halvlederkvalitet.

● Høy nøyaktighet: 

Vi bruker maskinering på mikronnivå. CVD-tykkelsen er veldig jevn. Dette gjør at hver ring fungerer nøyaktig på samme måte.

FAQ

(1) Hva gjør SiC epi-toppringen?

Ringen styrer varme og gassstrøm. Det sørger for at den tynne filmen vokser jevnt over oblaten.

(2) Hvorfor er CVD SiC bedre enn grafitt?

Grafitt er porøs. Grafitt har porer og frigjør gass. Solid CVD SiC er tett og rent. Den varer mye lenger i etsende verktøy.

(3). Kan den 8 tommers SiC-toppringen tilpasses?

Ja. Vi bygger etter dine spesifikke verktøytegninger. Vi kan justere geometri basert på din prosess.

(4). Hvilke bransjer bruker SiC epitakseringer?

De brukes hovedsakelig i halvlederproduksjon, inkludert kraftenheter, RF-enheter og SiC-waferproduksjon.