Produkter

Silisiumkarbidkeramikk

VeTek Semiconductor er din innovative partner innen halvlederbehandling. Med vår omfattende portefølje av materialkombinasjoner av silisiumkarbidkeramikk av halvlederkvalitet, komponentproduksjonsevner og applikasjonsingeniørtjenester, kan vi hjelpe deg med å overvinne betydelige utfordringer. Teknisk teknisk silisiumkarbidkeramikk er mye brukt i halvlederindustrien på grunn av deres eksepsjonelle materialytelse. VeTek Semiconductors ultrarene silisiumkarbidkeramikk brukes ofte gjennom hele syklusen av halvlederproduksjon og prosessering.


DIFFUSJON OG LPCVD-BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerte keramiske komponenter spesielt designet for batchdiffusjon og LPCVD-krav, inkludert:

• Bafler og holdere
• Injektorer
• Foringer og prosessrør
• Utkragende padler av silisiumkarbid
• Waferbåter og pidestaller


ETSE PROSESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedlikehold med komponenter med høy renhet konstruert for påkjenningen av plasmaetsingsbehandling, inkludert:

Fokusringer

Dyser

Skjold

Dusjhoder

Vinduer / lokk

Andre tilpassede komponenter


RASK TERMISK BEHANDLING OG EPITAXIAL PROSESSKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avanserte materialkomponenter skreddersydd for høytemperatur termisk prosesseringsapplikasjoner i halvlederindustrien. Disse applikasjonene omfatter RTP, Epi-prosesser, diffusjon, oksidasjon og annealing. Vår tekniske keramikk er designet for å tåle termiske støt, og gir pålitelig og konsistent ytelse. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederprodusenter oppnå effektiv og høykvalitets termisk prosessering, noe som bidrar til den generelle suksessen til halvlederproduksjon.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre tilpassede termiske komponenter


Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid
Eiendom Typisk verdi
Arbeidstemperatur (°C) 1600°C (med oksygen), 1700°C (reduserende miljø)
SiC / SiC innhold > 99,96 %
Si / Gratis Si-innhold < 0,1 %
Bulk tetthet 2,60-2,70 g/cm3
Tilsynelatende porøsitet < 16 %
Kompresjonsstyrke > 600 MPa
Kald bøyestyrke 80–90 MPa (20 °C)
Varmbøyningsstyrke 90-100 MPa (1400 °C)
Termisk ekspansjon @1500°C 4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C 23  W/m•K
Elastisk modul 240 GPa
Motstand mot termisk sjokk Ekstremt bra


View as  
 
Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

Silisiumkarbidskivebåt for horisontal ovn

SiC wafer båt har høye krav til materialrenhet.Vetek Semiconductor leverer SiC renhet >99,96% rekrystallisert SiC til dette produktet.VeTek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør i Kina for silisiumkarbid wafer båt for horisontal ovn, med mange års erfaring innen FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurransedyktig pris. Du kan være trygg på å kjøpe silisiumkarbidwaferbåten for horisontal ovn hos oss.
SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

SiC-belagt silisiumkarbidskivebåt

SIC -belagt silisiumkarbidskivebåt er designet med 165 spor for å bære skiver. Vetek Semiconductor er profesjonell produsent og leverandør i Kina for SIC -belagt silisiumkarbidskivebåt, med mange års erfaring i FoU og produksjon, kan kontrollere kvaliteten godt og tilby en konkurrerende pris. Velkommen for å besøke fabrikken vår og ha ytterligere diskusjon om samarbeid.
Silisiumkarbid cantilever padle

Silisiumkarbid cantilever padle

Vetek Semiconductors silisiumkarbid cantilever-padle er en viktig komponent i halvlederproduksjonsprosessen, spesielt egnet for diffusjonsovner eller LPCVD-ovner i høye temperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vår silisiumkarbid cantilever-padle er nøye designet og produsert med utmerket høye temperaturmotstand og mekanisk styrke, og kan trygt og pålitelig transportere skiver til prosessrøret under tøffe prosessbetingelser for forskjellige høye temperaturprosesser som diffusjon og RTP. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Feel fri til å spørre oss.
Høy ren silisiumkarbidskivebærer

Høy ren silisiumkarbidskivebærer

Vetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er viktige komponenter i halvlederbehandling, designet for å trygt holde og transportere delikate silisiumskiver, og spiller en nøkkelrolle i alle stadier av produksjonen. Vetek Semiconductors høye rene silisiumkarbidskivebærer er nøye designet og produsert for å sikre utmerket ytelse og pålitelighet. Vetek Semiconductor er opptatt av å tilby kvalitetsprodukter til konkurransedyktige priser, og vi ser frem til å være din langsiktige partner i Kina. Feel fri til å forhøre oss.
Silisiumkarbid wafer båt

Silisiumkarbid wafer båt

Vetek Semiconductors silisiumkarbidskivebåt med høy renhet er laget av ekstremt rent silisiumkarbidmateriale med utmerket termisk stabilitet, mekanisk styrke og kjemisk motstand. Silisiumkarbidskivebåt med høy renhet brukes i applikasjoner med varm sone i halvlederproduksjon, spesielt i miljøer med høy temperatur, og spiller en viktig rolle i å beskytte skiver, transportere materialer og vedlikeholde stabile prosesser. Vetek Semiconductor vil fortsette å jobbe hardt for å innovere og forbedre ytelsen til silisiumkarbidskivebåt med høy renhet for å imøtekomme de utviklende behovene til halvlederproduksjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina. Feel fri til å spørre oss.
Ultra rent silisiumkarbidpulver for krystallvekst

Ultra rent silisiumkarbidpulver for krystallvekst

Vetek Semiconductor er en profesjonell produsent og leverandør, dedikert til å tilby ultra rent silisiumkarbidpulver av høy kvalitet for krystallvekst. Med en renhet på opptil 99.999% vekt og ekstremt lave urenhetsnivåer av nitrogen, bor, aluminium og andre forurensninger, er den spesielt designet for å forbedre de semi-isolerte egenskapene til silisiumkarbid i silisium. Velkommen til å spørre og samarbeide med oss!
Som profesjonell Silisiumkarbidkeramikk produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Silisiumkarbidkeramikk laget i Kina, kan du gi oss en melding.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept