Annen halvlederkeramikk

Den porøse Sic keramiske chuck av Veteksemicon er en presisjons-konstruert vakuumplattform designet for sikker og partikkelfri wafer-håndtering i avanserte halvlederprosesser som etsing, ionimplantasjon, CMP og inspeksjon. Produsert av porøst silisiumkarbid med høy renhet gir enestående termisk konduktivitet, kjemisk motstand og mekanisk styrke. Med tilpassbare porestørrelser og dimensjoner, leverer Veteksemicon skreddersydde løsninger for å oppfylle de strenge kravene til rentromsbehandlingsmiljøer.

Våre kvartsbåter er skiveoppføringsoppløsning med høy renhet skreddersydd for halvleder-, LED-, solcelle- og batteriproduksjonsprosesser. Denne kvartsbåten er konstruert for å tåle høye temperaturer og kjemisk aggressive miljøer, og har lav termisk ekspansjon, utmerket elektrisk isolasjon og langsiktig dimensjonsstabilitet. Ideell for diffusjons-, oksidasjons- og LPCVD -prosesser, den støtter presis skiveinnretting og er tilgjengelig i forskjellige størrelser for å oppfylle forskjellige utstyrskrav.

Vår kvartsbåt med høy renhet er laget av smeltet kvarts (Sio₂ -innhold ≥ 99,99%). Med sin utmerkede motstand mot ekstreme miljøer, lav termisk ekspansjonskoeffisient og lang livssyklus, har den blitt en uerstattelig nøkkel forbrukbar i halvleder- og nye energibransjer.

Fokusring for etsing er nøkkelkomponenten for å sikre prosessnøyaktighet og stabilitet. Disse komponentene er nettopp samlet i et vakuumkammer for å oppnå ensartet maskinering av nanoskala strukturer på skivets overflate gjennom presis kontroll av plasmadistribusjon, kanttemperatur og elektrisk felt ensartethet.

Veteksemicon er en ledende vakuum chuck -produsent i Kina. Vår keramiske vakuum chuck fungerer som en høye sluttvakuumadsorpsjonsanordning orientert mot nøyaktig adsorberende og immobiliserende skiver og ingotter. Velkommen din henvendelse.

Semiconductor Grade Quartz Bell Jar er en viktig utstyrskomponent som hovedsakelig brukes i miljøer med høy temperatur, høyt trykk og høye renheter. Det er laget av kvartsmateriale med høy renhet, har utmerket termisk stabilitet, kjemisk motstand og optisk gjennomsiktighet, og er mye brukt i industrielle felt som halvlederproduksjon og LED -produksjon. Vetek Semiconductor har mange års prosessakkumulering i kvartsklokken for halvlederklasse og kan tilby tilpassede produkter i henhold til kundebehov. Ser frem til din henvendelse.