Sic beleggsamlerbunn

Vetek Semiconductor er produsent forpliktet til å gi høy kvalitetCVD TAC -beleggog CVD SIC Coating Collector Bottom og jobber tett med Aixstron -utstyr for å imøtekomme kundenes behov. Enten i prosessoptimalisering eller utvikling av nye produkt, er vi klare til å gi deg teknisk support og svare på spørsmål du måtte ha.

Produktkjernefunksjon

Prosessstabilitetsgaranti

Temperaturgradientkontroll: ±1.5℃/cm@1200℃

Optimalisering av strømningsfelt: Spesialkanaldesignet gjør reaksjonsgassfordelingen enhetlighet opp til 92,6%

Utstyrsbeskyttelsesmekanisme

Dobbel beskyttelse:

Termisk sjokkbuffer: Totstand 10 ℃/s Rask temperaturendring

Partikkelavskjæring: fangst> 0,3μm sedimentpartikler

Innen banebrytende teknologi

Hele prosesskvalitetskontroll

Produksjonssporbarhetssystem

Kilde til råvarer: Tokai/Toyo Graphite fra Japan, SGL -grafitt fra Tyskland

Digital Twin Monitoring: Hver komponent er tilpasset en uavhengig prosessparameterdatabase

Applikasjonsscenario:

Tredje generasjons halvlederproduksjon

Scenario: 6-tommers SIC epitaxial vekst (100-150μm tykkelseskontroll)

Kompatibel modell: AixTron G5 WW/Crius II

Ved å bruke AixTron SIC -belagt samlertopp, samlersenter og SIC -belagt samler, termisk styring og kjemisk beskyttelse i halvlederproduksjonsprosesser kan oppnås, kan filmvekstmiljøet optimaliseres, og kvaliteten og konsistensen til filmen kan forbedres. Kombinasjonen av disse komponentene i AixTron -utstyr sikrer stabile prosessforhold og effektiv halvlederproduksjon.

SEM -data fra CVD SIC -film