EPI -supporter

Vetek Semiconductor er en profesjonell leder China Epi gjennomført, Ald Planetary Tugor og TAC Coated Graphite Support Produsent. og Vår EPI -støtte er en viktig komponent avepitaksial vekstI produksjonsprosessen for halvleder. Hovedfunksjonen er å støtte og varme opp skiven slik at et epitaksialt lag av høy kvalitet kan dyrkes jevnt på skiveoverflaten.

Vetek Semiconductors EPI-masceptors er vanligvis laget av grafitt med høy renhet og belagt med et lag silisiumkarbid (SIC).Denne designen har følgende viktige fordeler:

● Høy temperaturstabilitet: EPI -mykten kan forbli stabil i et miljø med høyt temperatur, og sikre at den ensartede veksten av det epitaksiale laget.

● Korrosjonsmotstand: SIC -belegget har utmerket korrosjonsbestandighet og kan motstå erosjonen av kjemiske gasser, og forlenger levetiden til brettet.

● Termisk ledningsevne: Den høye termiske ledningsevnen til SIC -materiale sikrer ensartet temperaturfordeling av skiven under oppvarming, og forbedrer dermed kvaliteten på det epitaksiale laget.

● Termisk ekspansjonskoeffisient matching: Den termiske ekspansjonskoeffisienten til SIC ligner på grafitt, og unngår problemet med beleggskur på grunn av termisk ekspansjon og sammentrekning.

Grunnleggende fysiske egenskaper tilCvd sic belegg:

CVD SIC Coating Production Shop:

Oversikt over halvlederbrikken Epitaxy Industry Chain: