CVD SiC Coating Grafitt deler rengjøringstjeneste

1. Utfordringer du kan stå overfor

• AlN-lag vanskelig å fjerne:1300°C termisk rengjøring kan fortsatt ikke effektivt etse gjenværende AlN-lag.

• Tilbakevendende minneeffekt:Overflateminneeffekt forårsaker ustabil gasstrøm i reaktoren, noe som påvirker prosesskonsistensen.

• Rengjøringssyklus Impacts gjennomstrømning:Vanligvis trenger hver 16. prosesssyklus (4–5 susceptorer) ekstern rengjøring.

• Bekymring for skadelig kostbar belegg:Mangel på intern erfaring med kjemisk rengjøring gjør at operatører nøler med å forsøke aggressiv rengjøring.

2. Vår løsning – Designet for GaN / AlN / AlGaN-prosesser

• Profesjonell rengjøring:Tilpasset prosess spesielt utviklet for CVD SiC-belagte grafittdeler. Ingen kjemisk formel kreves fra kunden.

• Beleggsikkerhet:Beskytter det 100 µm CVD SiC-belegget strengt. Absolutt null tykkelsestap etter rengjøring.

• Verifiserbare resultater:Fullstendig analysesertifikat (COA) som dekker fem kjernedimensjoner. Data klare for arkiv- og kvalitetsrevisjon.

3. Fem kjerne akseptkriterier

Streng på linje med de kritiske kravene til brukere av halvlederepitaksi:

1. Null tap av belegg– SiC-beleggtykkelsen reduseres aldri etter rengjøring (pre/post-tykkelsessammenligning).

2. Ingen overflatedeformasjon– Flathet og geometrisk nøyaktighet er strengt inspisert for å sikre ingen fysisk deformasjon.

3. Eliminer minneeffekten– XPS-analyse for Al/Ga-rester bekrefter grundig fjerning av minneeffektkilder.

4. Null metallrester– ICP-MS-testing for Fe, Cu, Ni og andre metaller bekrefter null gjenværende metalliske urenheter.

5. Ingen overflødig partikler– QIII-partikkeltest pluss renhetsverifisering forhindrer ustabilitet i gasstrømmen forårsaket av gjenværende partikler.

4. Leveringsinspeksjon & COA-rapport

Hver batch leveres med full verifiseringsdata på tvers av fem kjernedimensjoner:

5. Gjeldende produkter og prosessbakgrunn

Produktparametere

Tjenesteprosess

1. Forespørsel– Send delbilder / modell / antall for vurdering.

2. Tilbud– Teknisk evaluering og detaljert rengjøringsforslag med tilbud.

3. Frakt– Send deler til oss eller avtal henting.

4. Rengjøring– Profesjonell rengjøring + full flerdimensjonal inspeksjon.

5. Rapport– COA-rapport utstedt og rengjorte deler returnert.

6. Oppfølging– Effektsporing og løpende teknisk støtte.

6. Hvorfor velge VETEK rengjøringstjeneste?

VETEK kombinerer dyp ekspertise innen CVD SiC-beleggsteknologi med spesialiserte rengjøringsevner for høyverdige grafittsusceptorer. Vi forstår den kritiske viktigheten av beleggintegritet, partikkelkontroll og prosessrenhet i GaN/AlN-epitaksi. Tjenesten vår er designet for kunder som krever absolutt sikkerhet for dyre CVD SiC-belegg, samtidig som de løser problemer med minneeffekt og gassstrøm-ustabilitet.

· Prøverengjøring tilgjengelig for verifisering i små partier

· Full COA-rapport følger med hver levering

· Null risiko for beleggskader eller ny forurensning

· Profesjonell · Trygg · Verifiserbar