Solid SiC fokusring

6. Hovedapplikasjonsfelt

7. Veteksi solid SiC fokusring kjernefordeler

Utmerket plasmakorrosjonsbestandighet

Ved langvarig eksponering for svært etsende plasmaer med høy tetthet som CF4, O2 og Cl2, er konvensjonelle materialer utsatt for rask slitasje og partikkelforurensning. Vår solide SiC-fokusring viser utmerket korrosjonsmotstand, med en korrosjonshastighet som er langt lavere enn for materialer som kvarts eller alumina. Dette betyr at den opprettholder en jevn overflate over tid, noe som reduserer risikoen for wafer-defekter betraktelig forårsaket av komponentslitasje, og sikrer kontinuerlig og stabil masseproduksjon.

Utmerket høytemperaturstabilitet og termisk styringsytelse

Halvlederetsingsprosessen genererer betydelig varme, noe som får kammerkomponenter til å oppleve dramatiske temperatursvingninger. Fokusringene våre har en ekstremt lav termisk ekspansjonskoeffisient, i stand til å motstå forbigående temperaturer opp til 1600°C uten sprekkdannelse eller deformasjon. Videre bidrar deres iboende høye termiske ledningsevne til å spre varmen jevnt og raskt, og effektivt forbedre temperaturfordelingen ved waferkanten, og dermed forbedreng etsende enhetlighet og konsistens av kritiske dimensjoner over hele waferen.

Ekstraordinær materialrenhet og strukturell tetthet

Vi kontrollerer strengt renheten til silisiumkarbidråmaterialer (≥99,999%) og eliminerer metallforurensning under sintringsprosessen for å møte de strenge kravene til avanserte produksjonsprosesser for sporforurensningskontroll. Den tette strukturen dannet gjennom høytemperatursintring har ekstremt lav porøsitet, og blokkerer nesten fullstendig inntrengningen av prosessgasser og biprodukter. Dette forhindrer ytelsesforringelse og partikkelvekst forårsaket av intern materialnedbrytning, og sikrer et rent prosesskammermiljø.

Langvarig mekanisk levetid og omfattende kostnadseffektivitet

Sammenlignet med konvensjonelle forbruksvarer som krever hyppig utskifting, tilbyr Veteksi solide SiC-fokusringer eksepsjonell holdbarhet. De opprettholder stabil ytelse gjennom hele levetiden, og forlenger utskiftingssyklusene flere ganger. Dette reduserer ikke bare kostnadene for anskaffelse av reservedeler direkte, men forbedrer også maskinutnyttelsen betydelig ved å redusere utstyrets nedetid for vedlikehold, noe som resulterer i betydelige totale kostnadsfordeler for kundene.

Nøyaktig størrelseskontroll og fleksible tilpasningstjenester

Vi forstår de nøyaktige kravene til forskjellige maskiner og prosesser for forbruksvarer. Hver fokusring gjennomgår presisjonsbearbeiding og streng testing for å sikre kritiske dimensjonstoleranser innenfor ±0,05 mm. Vi tilbyr også tilpassede tjenester, inkludert tilpassede størrelser, overflatefinish (polering til Ra ≤ 0,2μm), og konduktivitetsjusteringer for å passe perfekt til dine spesifikke prosesskrav og applikasjonsscenarier.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, white papers eller prøveopplegg for testing, vennligst kontakt vårt tekniske støtteteam for å utforske hvordan Veteksemi kan forbedre prosesseffektiviteten din.