Silisiumkarbidrobotarm

Veteksemicons silisiumkarbid-robotarm er en high-end halvlederbehandlingsløsning designet spesielt for tøffe industrielle miljøer. Ved å bruke avansert silisiumkarbidmaterialteknologi med høy renhet viser den eksepsjonell stabilitet og holdbarhet i høye temperaturer, etsende miljøer og ultrahøye vakuumforhold. Som en nøkkelkomponent i waferhåndtering, etsing og deponeringsprosesser forbedrer vår robotarm betydelig produktiviteten og reduserer vedlikeholdskostnadene.

Ⅰ. Tekniske parametere

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm Core fordeler

1. Ekstrem miljøtoleranse

Vår robotarm bruker et unikt formulert SIC-belegg som gjennomgår flere avsetningsprosesser med høy temperatur, slik at den kan opprettholde strukturell integritet ved vedvarende temperaturer på 1500 ° C og effektivt motstå korrosjon fra plasma-bombardement og sterk syre- og alkalisk miljø. Dette tar for seg smertepunktene til tradisjonelle materialer som er utsatt for aldring og har en kort levetid under ekstreme arbeidsforhold.

2. Utmerkede mekaniske egenskaper

Ved å ta i bruk en sammensatt struktur av grafittsubstrat og SIC -belegg, har vi oppnådd en stivhet som langt overstiger metallmaterialene, samtidig som vi sikrer at armen er ekstremt lett. Denne utformingen sikrer at deformasjonen av robotarmen er ekstremt liten under høyhastighets frem- og tilbakegående bevegelse, og effektivt undertrykker jitter, og dermed kontrollerer den gjentatte posisjoneringsnøyaktigheten på ± 0,02 mm, og sikrer sikker overføring av presisjonsvafere.

3. Ultrahøy renslighet

Vi forstår at partikkelforurensning er den største utbyttet. Derfor gjennomgår hver robotarm presisjonspolering og spesialisert overflatebehandling, noe som resulterer i en overflateuhet RA på mindre enn 0,1μm. Belegget fester seg sikkert og forhindrer noen risiko for å skrelle. Våre produkter er 100% renslighetstestet, og oppfyller fullstendig ultrahøye rentromskrav og er klare til bruk i topp moderne produksjonslinjer.

4. Lang levetid

Takket være SICs iboende hardhet på 3000 HV og utmerket slitestyrke, opplever robotarmene min minimal ytelsesnedbrytning selv etter titusenvis av bevegelsessykluser. Deres levetid er flere ganger for vanlig keramisk eller aluminiumslegeringskomponenter, noe som reduserer driftsstans betydelig for utskifting og vedlikehold, og gir betydelig generell kostnadseffektivitet for våre kunder.

Ⅲ. Hovedapplikasjonsfelt

Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm 'Ecological Chain Verification dekker råvarer til produksjon, har passert internasjonal standardsertifisering, og har en rekke patenterte teknologier for å sikre dens pålitelighet og bærekraft i halvlederen og nye energifelt. Velkommen til å konsultere oss når som helst.