Oksidasjons- og diffusjonsovn

Oksidasjons- og diffusjonsovner brukes i ulike felt som halvlederenheter, diskrete enheter, optoelektroniske enheter, kraftelektroniske enheter, solceller og storskala integrert kretsproduksjon. De brukes til prosesser inkludert diffusjon, oksidasjon, gløding, legering og sintring av wafere.

VeTek Semiconductor er en ledende produsent som spesialiserer seg på produksjon av høyrent grafitt-, silisiumkarbid- og kvartskomponenter i oksidasjons- og diffusjonsovner. Vi er forpliktet til å levere høykvalitets ovnskomponenter til halvleder- og solcelleindustrien, og er i forkant av overflatebeleggingsteknologi, som CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbon, etc.

Fordelene med VeTek Semiconductor silisiumkarbidkomponenter:

Høy temperaturmotstand (opptil 1600 ℃)

Utmerket termisk ledningsevne og termisk stabilitet

God kjemisk korrosjonsbestandighet

Lav termisk utvidelseskoeffisient

Høy styrke og hardhet

Lang levetid

I oksidasjons- og diffusjonsovner, på grunn av tilstedeværelsen av høytemperatur og korrosive gasser, krever mange komponenter bruk av høytemperatur- og korrosjonsbestandige materialer, blant annet silisiumkarbid (SiC) er et vanlig valg. Følgende er vanlige silisiumkarbidkomponenter som finnes i oksidasjonsovner og diffusjonsovner:

Wafer båt

Silisiumkarbid wafer boat er en beholder som brukes til å bære silisium wafere, som tåler høye temperaturer og ikke reagerer med silisium wafere.

Ovnrør

Ovnsrøret er kjernekomponenten i diffusjonsovnen, brukt til å romme silisiumskiver og kontrollere reaksjonsmiljøet. Silisiumkarbidovnsrør har utmerket ytelse ved høy temperatur og korrosjonsbestandighet.

Baffelplate

Brukes til å regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inne i ovnen

Termoelement beskyttelsesrør

Brukes for å beskytte temperaturmålende termoelementer mot direkte kontakt med etsende gasser.

Cantilever padle

Utkragende skovler av silisiumkarbid er motstandsdyktige mot høy temperatur og korrosjon, og brukes til å transportere silisiumbåter eller kvartsbåter som bærer silisiumskiver inn i diffusjonsovnsrørene.

Gassinjektor

Brukt til å introdusere reaksjonsgass i ovnen, må den være motstandsdyktig mot høy temperatur og korrosjon.

Båtfører

Silisiumkarbid wafer båtholder brukes til å fikse og støtte silisium wafere, som har fordeler som høy styrke, korrosjonsbestandighet og god strukturell stabilitet.

Ovnsdør

Silisiumkarbidbelegg eller komponenter kan også brukes på innsiden av ovnsdøren.

Varmeelement

Silisiumkarbidvarmeelementer er egnet for høye temperaturer, høy effekt, og kan raskt heve temperaturen til over 1000 ℃.

SiC Liner

Brukt til å beskytte den indre veggen av ovnsrør, kan den bidra til å redusere tap av varmeenergi og motstå tøffe miljøer som høy temperatur og høyt trykk.