Silisiumkarbid keramisk wafer -båt

Fordelene ved å bruke Veteksemi silisiumkarbid keramisk wafer -båt

●  Svært høy temperaturmotstand til 3000 F (1650 ℃ ）

●  Superkorrosjonsbestandighet mot  syrer, løsemidler, salter og organiske stoffer, slitebestandig  

●  Enkel å rengjøre

●  Sterk slagfasthet

●  Sklifri

Vetek Semiconductor Manufacturing Industry behandler typisk disse skivene i enten horisontale skivebærer eller vertikale bærere.

●  Den horisontale bæreren, typisk kalt en "båt", har tre eller fire horisontalt anordnede stenger anordnet i en halvsirkelutforming, hvor hver stang har innovervendte spor satt deri med jevne mellomrom. Hvert sett med riller definerer et vertikalt rom for å bære en vertikalt plassert oblat.

● Den vertikale bæreren, typisk kalt et "vertikalt stativ", har tre eller fire vertikalt anordnede stenger (eller stolper) anordnet i en halvsirkeldesign, hvor hver stolpe har slisser satt deri med jevne mellomrom for å definere et rom for å støtte en horisontalt anordnet skive.

For å sikre den geometriske presisjonen som kreves i dette feltet, er de tre eller fire stengene festet til en toppplate og en bunnplate. Delene av innlegget mellom hvert spor, kalt "tenner", er identisk fordelt for å støtte skiver med jevne mellomrom fra og parallelt med bunnplaten. Hele racket plasseres deretter i en vertikal ovn for å behandle skivene.

Fordi en wafer behandlet på et vertikalt rack opplever mindre av en temperaturgradient over ansiktet (sammenlignet med en wafer behandlet i en horisontal båt), vender halvlederprodusenter i økende grad seg til vertikale ovner. Det er imidlertid en ulempe med vertikal ovn. Vafene som er disponert på et konvensjonelt vertikalt stativ støttes bare på ytterkanten. Som sådan opplever områdene med skiven som hviler på disse tennene høyere stress enn resten av skiven.

Når temperaturene i ovnen overstiger ca. 1000°C, blir disse spenningene ofte betydelige og deler av enkeltkrystallplaten beveger seg i forhold til hverandre langs krystallografiske plater som svar på denne spenningen. Dette fenomenet, kalt "slip", ødelegger effektivt verdien av halvlederanordningene som befinner seg i området av waferen der skli har skjedd.

Som en ledende leverandør og produsent av silisiumkarbidkeramiske waferbåter i Kina, har VeTek Semiconductor alltid vært forpliktet til å tilby avansert teknologi og Wafer Boat-produktløsninger for halvlederprosesseringsindustrien. Vi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

Det halvlederSilisiumkarbid keramisk wafer Båtproduksjonsbutikker: