Oksidasjon og diffusjonsovn

● Høy temperaturmotstand (opptil 1600 ℃)

● Utmerket varmeledningsevne og termisk stabilitet

● God kjemisk korrosjonsresistens

● Lav termisk ekspansjonskoeffisient

● Høy styrke og hardhet

● Lang levetid

I oksidasjons- og diffusjonsovner, på grunn av tilstedeværelsen av høy temperatur og etsende gasser, krever mange komponenter bruk av høye temperaturer og korrosjonsresistente materialer, hvorav silisiumkarbid (SIC) er et ofte brukt valg. Følgende er vanlige silisiumkarbidkomponenter som finnes i oksidasjonsovner og diffusjonsovner:

● Wafer -båt

Silisiumkarbid -skivebåt er en beholder som brukes til å bære silisiumskiver, som tåler høye temperaturer og ikke vil reagere med silisiumskiver.

● Ovnrør

Ovnrøret er kjernekomponenten i diffusjonsovnen, brukt til å imøtekomme silisiumskiver og kontrollere reaksjonsmiljøet. Silisiumkarbidovnerør har utmerket ytelse med høy temperatur og korrosjonsmotstand.

● Baffelplate

Brukes til å regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inne i ovnen

● Beskyttelsesrør for termoelement

Brukes til å beskytte temperaturen som måler termoelementer mot direkte kontakt med etsende gasser.

● Cantilever -padle

Silisiumkarbid cantilever -padler er motstandsdyktige mot høy temperatur og korrosjon, og brukes til å transportere silisiumbåter eller kvartsbåter som bærer silisiumskiver i diffusjonsovnen.

● Gassinjektor

Brukes til å innføre reaksjonsgass i ovnen, den må være motstandsdyktig mot høy temperatur og korrosjon.

● Båtbærer

Silisiumkarbid -skivebåtbærer brukes til å fikse og støtte silisiumskiver, som har fordeler som høy styrke, korrosjonsmotstand og god strukturell stabilitet.

● Ovnsdør

Silisiumkarbidbelegg eller komponenter kan også brukes på innsiden av ovndøren.

● Oppvarmingselement

Silisiumkarbidvarmeelementer er egnet for høye temperaturer, høy effekt og kan raskt øke temperaturen til over 1000 ℃.

● Sic foring

Brukes til å beskytte den indre veggen i ovnrørene, kan det bidra til å redusere tapet av varmeenergi og tåle tøffe miljøer som høyt temperatur og høyt trykk.