AixTron G5+ takkomponent

Galliumnitrid (GaN) er et bredt båndgap halvledermateriale med utmerkede fysiske egenskaper som høy elektronmobilitet, elektrisk nedbrytning av høyt nedbrytning og høy metning elektronhastighet. Det er mye brukt i optoelektroniske enheter (for eksempel lysemitterende dioder, laserdioder) og høyfrekvente elektroniske enheter med høy effekt (for eksempel effektforsterkere). Silisium (SI) er et ofte brukt halvlederunderlagsmateriale med fordelene med lave kostnader, stor størrelse og kompatibilitet med eksisterende silisiumbaserte integrerte kretsprosesser. Derfor er voksende GaN -epitaksiale lag på SI et veldig verdifullt forskningsemne. Aixstron G5+ -serien er en av de hotteste SI-baserte GaN-epitaksiale vekstutstyrene for tiden, som har mange viktige komponenter, og takkomponenten er en av de viktige komponentene.

AixTron G5+ takkomponenten er laget av SGL -grafitt. Hovedfunksjonen er å kontrollere temperaturen og sikre den laveste varmestrømmen gjennom skiven.

 ●Temperaturens enhetlighetskontroll: 

AixTron G5+ takkomponenten hjelper til med å oppnå ensartet temperaturfordeling gjennom reaksjonskammeret. I halvlederpitaksial vekstprosess er temperaturenheten avgjørende for å dyrke epitaksiale lag av høy kvalitet. Det sikrer at den samme overflatetemperaturen kan oppnås på alle skiver eller satellittkomponenter, og dermed sikre konsistensen av veksthastigheten og kvaliteten på det epitaksiale materialet på alle steder, og dermed forbedre prosessutbyttet.

 ● Optimaliser vekstmiljøet: 

Som en del av reaksjonskammeret danner AixTron G5+ takkomponenten et stabilt vekstmiljø sammen med andre komponenter. Det kan redusere varmetapet og gjøre temperaturen i reaksjonskammeret mer stabil, noe som bidrar til å kontrollere forholdene for epitaksial vekst og redusere epitaksiale lagdefekter og ytelses ikke-enhetlighet forårsaket av temperatursvingninger.

AixTron G5+ takkomponent er et av mainstream -produktene i bransjen som ble lansert av Vetek Semiconductor. Å velge Vetek Semiconductor betyr å samarbeide med et selskap som er forpliktet til å skyve grensene for innovasjon av silisiumkarbidbelegg. Med sterk vekt på kvalitet, ytelse og kundetilfredshet leverer vi produkter som ikke bare oppfyller, men overstiger de strenge kravene fra halvlederindustrien. La oss hjelpe deg med å oppnå større effektivitet, pålitelighet og suksess i driften med våre avanserte AixTron G5+ takkomponentløsninger.

Materialdata for SGL 6510 grafitt:

Det halvlederAixTron G5+ Takskomponentprodukter