Vertikal ovn SiC-belagt ring

I vertikale ovner er bruk av SiC-belagte ringer en vanlig løsning, hovedsakelig brukt i høytemperatur varmebehandlingsprosesser avhalvlederskiver. Vertikal ovn SIC-belagte ringer er høye ytelsesresistente komponenter som brukes til å støtte eller beskytte skiver for å sikre stabiliteten og påliteligheten av prosessen.

Funksjonene til vertikal ovn Sic belagt ring

● Funksjoner

Støtterolle. Brukes til å støtte wafere for å sikre stabilitet og nøyaktig plassering i høytemperaturovner.

●  Korrosjonsbeskyttelse

Unngå at etsende gasser eller kjemikalier korroderer grunnmaterialet.

●  Reduser forurensning

SiC-belegg med høy renhet kan effektivt forhindre partikkelavgivelse og forurensning av urenheter for å sikre prosessrenslighet.

●  Høy temperaturmotstand

Oppretthold utmerkede mekaniske egenskaper og dimensjonsstabilitet i miljøer med høy temperatur (vanligvis over 1000 ° C).

Funksjonene til vertikal ovn sic belagt ring

●  Høy hardhet og styrke

SiC-materialer har utmerket mekanisk styrke og tåler høy temperaturpåkjenning i ovnen.

●  God termisk stabilitet

SICs høye varmeledningsevne og lav termisk ekspansjonskoeffisient bidrar til å redusere termisk stress.

●  Sterk kjemisk stabilitet

SIC -belegg kan motstå korrosjon i oksiderende, sure eller alkaliske miljøer.

●  Lav partikkelforurensning

Den glatte overflaten reduserer muligheten for partikkelgenerering, noe som er spesielt egnet for det ultrarene miljøet ved halvlederproduksjon.

Brukes til diffusjon, oksidasjon, annealing og andre prosesser i vertikale ovner for å støtte silisiumskiver og forhindre partikkelforurensning under varmebehandling.

Produksjonsmateriell og prosesser

● Substrat: Laget av SGL-grafitt av høy kvalitet, er kvaliteten garantert.

●  Belegg: Silisiumkarbidbelegg påføres grafittoverflaten ved kjemisk dampavsetning (CVD).

● Beleggtykkelsen er vanligvis mellom 50 ~ 500μm, som er justert i henhold til brukskravene.

● Den kjemiske dampavsetningen SIC -belegget har høyere renhet og tetthet, og bedre holdbarhet.

Velg passendeSiC-beleggRing i henhold til diameteren til silisiumskiven i ovnen og bærerspesifikasjonene. Vi kan tilpasse det for deg. Høy renhet, tett belegg er mer holdbart og mindre forurensende. Regularly erstatt i henhold til hyppigheten av bruk og prosessbehov for å unngå forurensning eller støttesvikt på grunn av aldring av belegg.

Som en profesjonell Vertical Furnace SiC-belagt ringleverandør og produsent i Kina, har VeTek Semiconductor lenge vært forpliktet til å tilby avansert Vertical Furnace-teknologi og produktløsninger for halvlederindustrien. Vi ser oppriktig frem til å bli din langsiktige partner i Kina.

CVD SIC Film Krystallstruktur

Grunnleggende fysiske egenskaper ved CVD SIC -belegg

VeTek SemiconductorVertikal ovn Sic belagte ringbutikker: