Nettmeny

Produktsøk

Språk

Produkter

Solid silisiumkarbid

Vetek halvleder fast silisiumkarbid er en viktig keramisk komponent i plasmaetsetingsutstyr, fast silisiumkarbid (CVD silisiumkarbid) Deler i etsningsutstyret inkludererfokuserer ringer, Gasdusjhode, brett, kantringer osv. På grunn av den lave reaktiviteten og konduktiviteten til fast silisiumkarbid (CVD -silisiumkarbid) til klor - og fluorholdig etsningsgass, er det et ideelt materiale for plasmaetsetingsutstyr som fokuserer ringer og andre komponenter.


For eksempel er fokusringen en viktig del som er plassert utenfor skiven og i direkte kontakt med skiven, ved å bruke en spenning på ringen for å fokusere plasma som passerer gjennom ringen, og dermed fokusere plasmaet på skiven for å forbedre ensartetheten i prosessering. Den tradisjonelle fokusringen er laget av silisium ellerkvarts, Ledende silisium som et vanlig fokusringmateriale, det er nesten nær konduktiviteten til silisiumskiver, men mangelen er dårlig etsemotstand i fluorholdig plasma, etsningsmaskindeler som ofte brukes i en periode, det vil være alvorlig korrosjonsfenomen, og alvorlig redusere produksjonseffektiviteten.


Solid sic fokusringArbeidsprinsipp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Sammenligning av SI -basert fokuseringsring og CVD SIC Focusing Ring ：

Sammenligning av SI -basert fokuseringsring og cvd sic fokuseringsring
Punkt Og CVD SIC
Tetthet (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Termisk konduktivitet (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastic Modulus (GPA) 150 440
Hardness (GPA) 11.4 24.5
Motstand mot slitasje og korrosjon Fattig Glimrende


Vetek Semiconductor tilbyr avansert solid silisiumkarbid (CVD silisiumkarbid) deler som SIC -fokuseringsringer for halvlederutstyr. Vårt faste silisiumkarbidfokuseringsringer overgår tradisjonelt silisium når det gjelder mekanisk styrke, kjemisk motstand, termisk ledningsevne, holdbarhet med høy temperatur og ionetingmotstand.


Viktige funksjoner i våre SIC -fokuseringsringer inkluderer:

Høy tetthet for reduserte etsningshastigheter.

Utmerket isolasjon med et høyt bandgap.

Høy termisk ledningsevne og lavkoeffisient for termisk ekspansjon.

Overlegen mekanisk påvirkningsmotstand og elastisitet.

Høy hardhet, slitestyrke og korrosjonsmotstand.

Produsert ved bruk avPlasma-forbedret kjemisk dampavsetning (PECVD)Teknikker, våre SIC -fokuseringsringer oppfyller de økende kravene til etsingsprosesser i halvlederproduksjon. De er designet for å motstå høyere plasmakraft og energi, spesielt iKapasitive koblet plasma (CCP)systemer.

Vetek Semiconductors SIC -fokuseringsringer gir eksepsjonell ytelse og pålitelighet i produksjon av halvlederenheter. Velg våre SIC -komponenter for overlegen kvalitet og effektivitet.


View as  
 
Silisiumkarbid dusjhode

Silisiumkarbid dusjhode

Silisiumkarbiddusjhode har utmerket toleranse med høy temperatur, kjemisk stabilitet, termisk ledningsevne og god gassfordelingsytelse, som kan oppnå ensartet gassfordeling og forbedre filmkvaliteten. Derfor brukes det vanligvis i høye temperaturprosesser som kjemisk dampavsetning (CVD) eller fysisk dampavsetning (PVD) prosesser. Velkommen din videre konsultasjon til oss, Vetek Semiconductor.
Se mer >> Send forespørsel >>
Silisiumkarbidforseglingsring

Silisiumkarbidforseglingsring

Som en profesjonell produsent av silisiumkarbidforsegling og fabrikk i Kina, er Vetek halvleder silisiumkarbidforseglingsring mye brukt i halvlederbehandlingsutstyr på grunn av den utmerkede varmebestandigheten, korrosjonsmotstanden, mekanisk styrke og termisk ledningsevne. Det er spesielt egnet for prosesser som involverer høy temperatur og reaktive gasser som CVD, PVD og plasma -etsing, og er et sentralt materialvalg i halvlederproduksjonsprosessen. Dine videre henvendelser er velkomne.
Se mer >> Send forespørsel >>
CVD SIC -blokk for SIC -krystallvekst

CVD SIC -blokk for SIC -krystallvekst

CVD SIC -blokk for SIC -krystallvekst, er en ny råstoff med høy renhet utviklet av Vetek Semiconductor. Den har et høyt inngangsforhold og kan vokse høykvalitets silisiumkarbidkrystaller i stor størrelse, som er et andre generasjons materiale for å erstatte pulveret som brukes i markedet i dag. Velkommen til å diskutere tekniske problemer.
Se mer >> Send forespørsel >>
Sic Crystal Growth New Technology

Sic Crystal Growth New Technology

Vetek Semiconductors ultrahøye renhet silisiumkarbid (SIC) dannet ved kjemisk dampavsetning (CVD) anbefales for å brukes som kildemateriale for dyrking av silisiumkarbidkrystaller ved fysisk damptransport (PVT). I SIC Crystal Growth New Technology blir kildematerialet lastet inn i en digel og sublimert på en frøkrystall. Bruk CVD-SIC-blokker med høy renhet for å være som en kilde for voksende SIC-krystaller. Velkommen til å etablere et partnerskap med oss.
Se mer >> Send forespørsel >>
Cvd sic dusjhode

Cvd sic dusjhode

Vetek Semiconductor er en ledende produsent og innovatør av dusjhode og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert på SIC -materiale i mange år. CVD SIC Dusjhode er valgt som et fokuseringsringmateriale på grunn av den utmerkede termokjemiske stabiliteten, høy mekanisk styrke og motstand mot plasma -erosjon. Vi ser frem til å bli din langsiktige partner i Kina.
Se mer >> Send forespørsel >>
Sic dusjhode

Sic dusjhode

Vetek Semiconductor er en ledende SiC-produsent og innovatør i Kina. Vi har vært spesialisert i SIC-materiale i mange år. SIC Dusjhode er valgt som et fokuseringsringmateriale på grunn av den utmerkede termokjemiske stabiliteten, høy mekanisk styrke og motstand mot plasma-erosjon. Vi ser frem til å bli din langvarige partner i Kina.
Se mer >> Send forespørsel >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Som profesjonell Solid silisiumkarbid produsent og leverandør i Kina har vi vår egen fabrikk. Enten du trenger tilpassede tjenester for å imøtekomme de spesifikke behovene i regionen din eller ønsker å kjøpe avansert og holdbar Solid silisiumkarbid laget i Kina, kan du gi oss en melding.
Nyhetsanbefalinger
Hva er keramikk av silisiumkarbid?
Hva er keramikk av silisiumkarbid?Se mer >>
Hva er forskjellen mellom CVD TAC og sintret TAC?
Hva er forskjellen mellom CVD TAC og sintret TAC?Se mer >>
Hvordan forbedrer SIC -belegg oksidasjonsmotstanden til karbon？
Hvordan forbedrer SIC -belegg oksidasjonsmotstanden til karbon？Se mer >>
Utviklingshistorien til 3C SIC
Utviklingshistorien til 3C SICSe mer >>
De fire kraftigste grafittprodusentene i verden - Vetek
De fire kraftigste grafittprodusentene i verden - VetekSe mer >>
Kan isotropisk grafitt tåler ekstrem varme i høye temperaturovner
Kan isotropisk grafitt tåler ekstrem varme i høye temperaturovnerSe mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept