Silisiumkarbidfrø Krystallbonding Vakuum Hot-Press ovn

SiC frøbindingsteknologien er en av nøkkelprosessene som påvirkerkrystallvekst.VETEK har utviklet en spesialisertvakuum varmpresseovnfor frøbinding basert på egenskapene til denne prosessen. Ovnen kan effektivt redusere ulike defekter som genereres under frøbindingsprosessen, og dermed forbedre utbyttet og den endelige kvaliteten til krystallblokken.

Introdusere

1.Ovnen brukes til frøbinding førSiC krystallvekst

2. Det bundne frøet kan forbli godt festet ved en temperatur på 2300 ℃, og opprettholder 100 % vedheft uten luftbobler, med høy flathet, ren overflate på frøet og ingen urenheter adsorbert

3. Den oppvarmede plattformen er vedtatt motstandsoppvarming av spiralskiveformet, jevn varmesone, den er enkel å bruke, enkel å betjene

4. Bunnen av lasteplattformen utstyrt med kraftsensorer, nedoverkraften på arbeidsstykket vises nøyaktig 

Funksjon Introduksjon

1. Det vannkjølte metallkammeret i dobbeltveggen reduserer den ytre overflatetemperaturen til ovnskroppen effektivt, minimerer høytemperaturskader og reduserer miljøpåvirkningen.

2. Det kan oppnå automatisk økning av nedkraft og kraftholding, langsom lastekraft og forskyvning kan kontrolleres automatisk.

3. Diversifiserte vakuumkonfigurasjoner er tilgjengelige, og forskjellige vakuumnivåer kan velges i henhold til prosessen.

4.Uniform trykk og høy temperaturkontroll nøyaktighet.

5. Downforce-strukturen vedtar en presis mekanisk skyvekraft, som sikrer nøyaktig og stabil downforce, sikker bruk og miljøvennlighet.

6. Dunstempelet er koblet til skyvestangen med "universell" måte. Det er å sikre at når arbeidsstykket er undertrykt, er overflaten av dunstemplet under adaptiv parallell med overflaten på den oppvarmede plattformen, og sørg for at arbeidsstykket bærer den jevne nedkraften.

7. Dunstemplet har en funksjon for å bufre nedlastende kraft, og gir jevn og myk nedkraft uten støt, og forhindrer dermed sprekkdannelse i arbeidsstykket.

9. Både den oppvarmede plattformen og downforce-stempelet er utstyrt med termisk isolasjonsskjold for å redusere det ineffektive tapet av temperatur.

Parameter

Trekk

1.Slow vakuumpumping, vakuumpumpehastighet justerbar

2. Stort kammer, stor oppgraderingsplass

3. Dunstempelet går stabilt og fungerer automatisk

4. The downforce sakte avlastning og langsom økning, downforce rampe i henhold til resept automatisk kontroll

5.Nøyaktig programmert kontroll av temperatur og nedkraft

6. Parametrene for vakuum, downforce og temperatur kan fritt stilles inn for å matche forskjellige bindingsprosesser

7. Bindingen er komprimert og fri for bobler

8. Sprekkhastigheten er ekstremt lav, med nesten ingen sprekk forårsaket av utstyrsproblemer

9. Kompatibel med frøbinding på 6-12 tommer

10.Maks. nedkraft: 1,6 T

11. Ultimativt vakuum ：5 Pa (kaldt)

12. Temperaturensartethet til den oppvarmede plattformen:＜±3℃，σ<4（200℃）

13. Trykksvingninger ：<0,5 %