Silisiumkarbid Sic Wafer Boat

Veteksemicon Sic Wafer Boat er en kjernebærer designet spesielt for høye temperaturer halvlederprosesser. Ved å bruke høye renhet isostatisk presset grafitt som underlag, bruker dette produktet patentert kjemisk dampavsetningsteknologi for å danne et tett, ikke-porøst silisiumkarbidbeskyttende lag på overflaten.

Dette laget kombinerer sømløst den utmerkede termiske konduktiviteten til grafitt med den eksepsjonelle korrosjonsmotstanden til silisiumkarbid. Det strengt kontrollerte belegget oppnår en tykkelse på 80-120μm, og effektivt motstår korrosjon fra forskjellige sure og alkaliske atmosfærer, noe som reduserer risikoen for metallforurensning betydelig. Den opprettholder strukturell stabilitet og dimensjonell integritet selv i miljøer med høy temperatur, og gir pålitelig beskyttelse og støtte for skiver under kritiske prosesser som oksidasjon, diffusjon og epitaksial vekst, og forlenger effektivt levetid med mer enn tre ganger med konvensjonelle grafittbåter.

Ⅰ. Tekniske parametere

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Core fordeler

• Utmerket korrosjonsmotstand

SIC-belegget på Veteksemicon Wafer-båten blir avsatt ved hjelp av vår proprietære CVD-prosess med høy temperatur, noe som resulterer i en tett, ensartet struktur som er helt fri for porer og sprekker. Denne solide barrieren isolerer effektivt skiverne fra ovnsmiljøet. Sterke oksiderende atmosfærer, fluorerte forbindelser og andre etsende gasser er ugjennomtrengelige for dette beskyttende laget. Dette betyr at skivene dine er beskyttet mot forurensning, mens selve båten forblir intakt gjennom gjentatte ekstreme prosesser, og forlenger levetiden betydelig.

• Ultrahøy renhetsmaterialer

Vi forstår at selv den minste forurensning kan gjøre en hel gruppe av skiver ubrukelige. Derfor kontrollerer Veteksemicon strengt råvarer ved å bruke importert isostatisk presset grafitt med en renhet som overstiger 99.9995% som et underlag. SIC -belegget som er avsatt på dette underlaget oppnår også 99.999% renhet, med kritiske urenheter som natrium, kalium, jern og tungmetaller holdt til ekstremt lave nivåer (PPB). Denne nærmeste intrinsiske renheten sikrer at ingen forurensninger frigjøres ved høye temperaturer, noe som grunnleggende eliminerer risikoen for nedbrytning av enhetens ytelse på grunn av transportrelaterte problemer.

• Utmerket termisk stabilitet

Produksjon av halvleder krever ekstremt konsistente termiske prosesser. Veteksemicon Wafer Boat's termiske ekspansjonskoeffisient er nøye designet for å samsvare med silisiumskivene nøye. Under rask oppvarming og kjøling beveger båten og skiven synkroniseres betydelig, noe som reduserer gitterfeilene og skjevet forårsaket av termisk stress. Den tåler kontinuerlige driftstemperaturer opp til 1600 ℃, og opprettholder utmerket mekanisk styrke og dimensjonell stabilitet selv ved disse høye temperaturene. Dette sikrer repeterbarhet og pålitelighet i alle prosessløp, og gir et solid grunnlag for toleransekontroll i brikkeproduksjon.

• Holdbar mekanisk styrke

Verdien av produktene våre ligger ikke bare i den første investeringen, men også i de langsiktige eierkostnadene. Sammenlignet med tradisjonelle kvarts- eller grafittkomponenter, tilbyr Veteksemicon sic wafer -båter eksepsjonell slitasje og påvirkningsmotstand. Deres høye overflatehardhet motstår riper og rusk under håndtering og rengjøring. Denne seigheten gjør at de enkelt kan tåle over 200 prosesssykluser og nødvendige rengjøringsprosedyrer for høy temperatur, noe som reduserer anskaffelseskostnader, varelagerskostnader og driftsstans knyttet til hyppig komponentutskiftning.

• Påtegning av økologisk kjedeverifisering

Veteksemicon Sic Wafer Boat 'Ecological Chain Verification dekker råvarer til produksjon, har passert internasjonal standardsertifisering, og har en rekke patenterte teknologier for å sikre dens pålitelighet og bærekraft i halvlederen og nye energifelt.

Ⅲ. Hovedapplikasjonsfelt

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, hvite papirer eller prøvestrøvesordninger, vennligst kontakt vårt tekniske supportteam for å utforske hvordan Veteksemicon kan forbedre prosessenes effektivitet.

Veteksemicon Products Warehouse