Produkter
SiC Coating Susceptor
  • SiC Coating SusceptorSiC Coating Susceptor

SiC Coating Susceptor

Vetek Semiconductor fokuserer på forskning og utvikling og industrialisering av CVD SiC-belegg og CVD TaC-belegg. Ved å ta SiC belegg susceptor som et eksempel, er produktet svært behandlet med høy presisjon, tett CVD SIC belegg, høy temperaturbestandighet og sterk korrosjonsbestandighet. Din henvendelse til oss er velkommen.

Du kan være trygg på å kjøpe SiC-beleggsmottaker fra vår fabrikk. Som produsent av CVD SiC-belegg vil VeTek Semiconductor gjerne gi deg SiC-beleggsmottakere som er laget av grafitt med høy renhet og SiC-beleggmottaker (under 5 ppm). Velkommen til å spørre oss.


Hos Vetek Semiconductor spesialiserer vi oss på teknologisk forskning, utvikling og produksjon, og tilbyr en rekke avanserte produkter for industrien. Vår hovedproduktlinje inkluderer CVD SiC-belegg + grafitt med høy renhet, SiC-belagt susceptor, halvlederkvarts, CVD TaC-belegg + grafitt med høy renhet, stiv filt og andre materialer.

Et av våre flaggskipprodukter er SiC Coating Susceptor, utviklet med innovativ teknologi for å møte de strenge kravene til produksjon av epitaksial wafer. Epitaksiale wafere må vise tett bølgelengdefordeling og lave overflatedefektnivåer, noe som gjør vår SiC-beleggsmottaker til en viktig komponent for å oppnå disse avgjørende parametrene.

Fordeler med vår SiC Coating Susceptor:


✔ Basismaterialebeskyttelse: CVD SiC-belegget fungerer som et beskyttende lag under den epitaksiale prosessen, og beskytter effektivt basismaterialet mot erosjon og skade forårsaket av det ytre miljøet. Dette beskyttelsestiltaket forlenger levetiden til utstyret betydelig.

✔ Utmerket termisk ledningsevne: Vårt CVD SiC-belegg har enestående termisk ledningsevne, som effektivt overfører varme fra grunnmaterialet til beleggsoverflaten. Dette forbedrer termisk styringseffektivitet under epitaksi, og sikrer optimale driftstemperaturer for utstyret.

✔ Forbedret filmkvalitet: CVD SiC-belegget gir en flat og jevn overflate, og skaper et ideelt grunnlag for filmvekst. Det reduserer defekter som følge av gittermistilpasning, forbedrer krystalliniteten og kvaliteten til epitaksialfilmen, og forbedrer til slutt dens ytelse og pålitelighet.


Velg Vetek Semiconductor SiC Coating Susceptor for dine epitaksiale wafer-produksjonsbehov, og dra nytte av forbedret beskyttelse, overlegen termisk ledningsevne og forbedret filmkvalitet. Stol på VeTek Semiconductors innovative løsninger for å drive din suksess i halvlederindustrien.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg:

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg
Eiendom Typisk verdi
Krystallstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsakelig (111) orientert
CVD SiC-tetthet 3,21 g/cm³
CVD SiC belegg Hardhet 2500 Vickers hardhet (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kjemisk renhet 99,99995 %
Varmekapasitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøyestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300 W·m-1·K-1
Termisk ekspansjon (CTE) 4,5×10-6K-1

VeTekSemi SiC Coating Susceptor Produksjonsbutikker:

SiC Coating Susceptor Production shops

Hot Tags: SiC Coating Susceptor
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
Vi bruker informasjonskapsler for å gi deg en bedre nettleseropplevelse, analysere nettstedstrafikk og tilpasse innhold. Ved å bruke denne siden godtar du vår bruk av informasjonskapsler.Personvernerklæring
AvvisAkseptere