Høy renhet kvartsbåt

Båter med høy renhetskvarts er presisjonsbærere laget av ultrahøy renhetskvartsmaterialer (SiO₂-innhold ≥ 99,99%), designet for høye temperaturer med høy renslighet. Denne enheten er viktig for prosesser som annealing, diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning (CVD), og er mye brukt i halvledere, fotovoltaikk og andre felt. Dens kjernefordel ligger i selve materialets fysiske og kjemiske stabilitet.

Ⅰ. Utmerkede fysiske egenskaper til Veteksemicon kvartsbåt med høy renhet

Ⅱ. Hovedbruk og tilsvarende produktfordeler med kvartsbåt med høy renhet

1. Halvlederproduksjon:

Spesifikke bruksområder: Bæringsverktøy i wafer høye temperaturdiffusjon, oksidasjon, annealing og CVD (kjemisk dampavsetning) prosesser.

Produktfordeler:

● Ultra-lav forurensning: Veteksemicons 99,99% rene skivebåter unngår metallionforurensning og sikrer elektrisk brikke elektrisk ytelse.

● Presis størrelse: Flatheten til kvartsbåten er ± 0,05 mm, noe som sikrer ensartet oppvarming av skiven (for eksempel en 12-tommers skivebåt).

● Lang levetid: I følge de faktiske produksjonsdataene vi har registrert, kan kvartsbåtene vi produserer brukes kontinuerlig i mer enn 1000 timer ved 1200 ° C, og reduserer erstatningsfrekvensen (sammenlignet med vanlige kvartsbåter, økes livet med 3 ganger).

2. Fotovoltaisk industri

Spesifikke bruksområder: I løpet av fotovoltaisk industriproduksjon brukes vanligvis kvartsbåter med høy renhet til silisiumskiver i fosfordiffusjonen av Perc-celler og bor diffusjonsprosessen til TopCon-celler.

Ytelsesfordeler:

● Høy belastningsdesign: Enkeltbåten vi produserer kan bære 200 ~ 300 silisiumskiver (tykkelse 160 ~ 180μm), noe som forbedrer avkapasitetskapasiteten per enhet per enhetstid.

● Rask temperaturstigning og fall: Ultra-lav termisk ekspansjonskoeffisient (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nær null ekspansjon) støtter en reduksjon på 10% ~ 15% i prosesskyssyklusen.

● Anti-PID-effekt: Ingen nedbør av natriumion under silisiumskaftbelastningsprosessen reduserer risikoen for fotoindusert nedbrytning.

Ⅲ. Kvarts båtemballasje Spesifikasjoner

Veteksemicon Quartz-båter vil bruke flerlags tett emballasje for å sikre integriteten til produktet under lagring og transport.

Samtidig støtter Veteksemincon tilpasset utvidet prosessdesign, for eksempel ikke-standardstørrelse (feil ± 0,1 mm), flerlags stablingsdesign (opptil 5 lag) og høy temperaturbestandig filmbelegg (for eksempel SIC-belegg). Velkommen din videre konsultasjon.