Vår kvartsbåt med høy renhet er laget av smeltet kvarts (Sio₂ -innhold ≥ 99,99%). Med sin utmerkede motstand mot ekstreme miljøer, lav termisk ekspansjonskoeffisient og lang livssyklus, har den blitt en uerstattelig nøkkel forbrukbar i halvleder- og nye energibransjer.
Båter med høy renhetskvarts er presisjonsbærere laget av ultrahøy renhetskvartsmaterialer (SiO₂-innhold ≥ 99,99%), designet for høye temperaturer med høy renslighet. Denne enheten er viktig for prosesser som annealing, diffusjon, oksidasjon og kjemisk dampavsetning (CVD), og er mye brukt i halvledere, fotovoltaikk og andre felt. Dens kjernefordel ligger i selve materialets fysiske og kjemiske stabilitet.
Ⅰ. Utmerkede fysiske egenskaper til Veteksemicon kvartsbåt med høy renhet
Egenskaper
Spesifikke parametere/ytelse
Renhet
SiO₂ -innhold ≥99,99% (4N -klasse), metallforurensninger (slik som Na, K, Fe) ≤10 ppm, for å unngå forurensning av sensitive prosessmiljøer.
Høy temperaturmotstand
Mykgjøringspunkt: ≥1660 ° C (kortsiktig toleranse 1700 ° C);
Kontinuerlig brukstemperatur:1200 ° C (langsiktig stabilitet uten deformasjon)
Termisk ekspansjonskoeffisient
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nær null ekspansjon, utmerket termisk støtmotstand.
Kjemisk stabilitet
Resistente mot sterke syrer (unntatt HF), sterke alkalier (ved romtemperatur) og resistente mot etsende gasser som H₂ og Cl₂ ved høye temperaturer.
Optiske egenskaper
UV-IR-transmittans ≥90% (200 ~ 2500 nm), egnet for gjennomsiktige bærerbehov i litografi og laserprosesser.
Mekanisk styrke
Trykkstyrke: ≥1200 MPa
Surface Hardness (MOHS): 7 (høyere enn vanlig glass)
Overflatebehandling
RA≤0,2 μm, reduserer partikkelforurensning og forbedring av skiveutbyttet.
Ⅱ. Hovedbruk og tilsvarende produktfordeler med kvartsbåt med høy renhet
1. Halvlederproduksjon:
Spesifikke bruksområder: Bæringsverktøy i wafer høye temperaturdiffusjon, oksidasjon, annealing og CVD (kjemisk dampavsetning) prosesser.
● Presis størrelse: Flatheten til kvartsbåten er ± 0,05 mm, noe som sikrer ensartet oppvarming av skiven (for eksempel en 12-tommers skivebåt).
● Lang levetid: I følge de faktiske produksjonsdataene vi har registrert, kan kvartsbåtene vi produserer brukes kontinuerlig i mer enn 1000 timer ved 1200 ° C, og reduserer erstatningsfrekvensen (sammenlignet med vanlige kvartsbåter, økes livet med 3 ganger).
2. Fotovoltaisk industri
Spesifikke bruksområder: I løpet av fotovoltaisk industriproduksjon brukes vanligvis kvartsbåter med høy renhet til silisiumskiver i fosfordiffusjonen av Perc-celler og bor diffusjonsprosessen til TopCon-celler.
Ytelsesfordeler:
● Høy belastningsdesign: Enkeltbåten vi produserer kan bære 200 ~ 300 silisiumskiver (tykkelse 160 ~ 180μm), noe som forbedrer avkapasitetskapasiteten per enhet per enhetstid.
● Rask temperaturstigning og fall: Ultra-lav termisk ekspansjonskoeffisient (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), nær null ekspansjon) støtter en reduksjon på 10% ~ 15% i prosesskyssyklusen.
● Anti-PID-effekt: Ingen nedbør av natriumion under silisiumskaftbelastningsprosessen reduserer risikoen for fotoindusert nedbrytning.
Ⅲ. Kvarts båtemballasje Spesifikasjoner
Veteksemicon Quartz-båter vil bruke flerlags tett emballasje for å sikre integriteten til produktet under lagring og transport.
Samtidig støtter Veteksemincon tilpasset utvidet prosessdesign, for eksempel ikke-standardstørrelse (feil ± 0,1 mm), flerlags stablingsdesign (opptil 5 lag) og høy temperaturbestandig filmbelegg (for eksempel SIC-belegg). Velkommen din videre konsultasjon.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi bruker informasjonskapsler for å gi deg en bedre nettleseropplevelse, analysere nettstedstrafikk og tilpasse innhold. Ved å bruke denne siden godtar du vår bruk av informasjonskapsler. Personvernerklæring