Fokusring for etsing

Monokrystallinske etsningsringer for silisium er viktige komponenter i halvlederensetingsprosesser ved å opprettholde plasmamiljøstabilitet, beskytte utstyr og skiver, optimalisere ressursutnyttelse og tilpasse til avanserte prosesskrav. Ytelsen påvirker direkte avkastningen og kostnadene for brikkeproduksjon.

Den etsede fokusringen, elektrode og etc (kanttemperaturkontroller) er kjernen forbruksvarer for å sikre plasma -enhetlighet, temperaturkontroll og prosessrepeterbarhet. Disse komponentene er nettopp samlet i vakuumkammeret til CVD, etsing og filmutstyr og bestemmer direkte nøyaktigheten og utbyttet av etsingen fra kanten til midten av skiven.

Som svar på den strenge etterspørselen etter materielle egenskaper i avanserte produksjonsprosesser, innoverer Veteksemi ved å bruke monokrystallinsk silisium med høy renhet med en resistivitet på 10-20Ω · cm for å produsere fokuseringsringer og støtte forbruksvarer. Gjennom samarbeidsoptimalisering av materialvitenskap, elektrisk design og termodynamikk, er Veteksemi i stand til å produsere fokuseringsringer og støtte forbruksvarer. Overgår omfattende tradisjonelle kvartsløsninger for å oppnå gjennombruddsforbedringer i levetid, nøyaktighet og kostnadseffektivitet.

Kjernemateriale sammenligning og resistivitetsoptimalisering

Monokrystallinsk silisium Vs. Kvarts

Produktkjernen Advantage

1. Atomnivå prosessnøyaktighet

Resistivitetsoptimalisering + Ultra-Precision Polishing (RA <0,1μm) eliminerer mikroutladning og partikkelforurensning for å oppfylle semi F47-standarder.

Det dielektriske tapet (TanΔ <0,001) er sterkt tilpasset det dielektriske miljøet, og unngår kant elektrisk feltforvrengning og støtter 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° vertikal dyp hull.

2. Intelligent systemkompatibilitet

Integrert med ETC -kant temperaturkontrollmodul, blir kjølelstrømmen dynamisk justert av termoelement og AI -algoritme for å kompensere kammertermisk drift.

Støtt tilpasset RF -matchende nettverk, egnet for mainstream -maskiner som Amat Centura, LAM Research Kiyo og ICP/CCP plasmakilder.

3. Omfattende kostnadseffektivitet

Livet til monokrystallinsk silisium er 275% lengre enn kvarts, vedlikeholdssyklusen er mer enn 3000 timer, og den omfattende eierkostnaden (TCO) reduseres med 30%.

Resistivity Gradient Customization Service (5-100Ω · cm), nøyaktig samsvarer med kundeprosessvinduet (for eksempel GaN/SIC Wide Band Gap Material-etsing).

Effekten av resistivitet

Produkt kommersielle vilkår

Minimum bestillingsmengde	1 sett
Pris	Kontakt for tilpasset tilbud
Emballasjeopplysninger	Standard eksportpakke
Leveringstid	Leveringstid: 30-35 dager etter ordrebekreftelse
Betalingsbetingelser	T/t
Forsyningsevne	600 sett/måned