Sic belegg halvmoon grafittdeler

I reaksjonskammeret til SiC-epitaksialvekstovnen er SiC-belegget Halfmoon-grafitt-deler nøkkelkomponenter for å optimalisere gassstrømfordeling, termisk feltkontroll og reaksjonsatmosfære ensartethet. De er vanligvis laget av SiC-belegggrafitt, designet i en halvmåne form, som ligger i de øvre og nedre grafittdelene av reaksjonskammeret, som omgir underlagsområdet.

    •Øvre halvmoon grafittdel: Installert i den øvre delen av reaksjonskammeret, nær gassinnløpet, ansvarlig for å lede reaksjonsgassen til å strømme mot underlagsoverflaten.

    •Nedre halvmåne grafittdel: Ligger i bunnen av reaksjonskammeret, vanligvis under underlagsholderen, som brukes til å kontrollere gasstrømningsretningen og optimalisere det termiske feltet og gassfordelingen i bunnen av underlaget.

UnderSiC-epitaksiprosess, Den øvre halvmåne grafittdelen hjelper til med å lede gasstrømmen til å bli jevnt fordelt på underlaget, og forhindrer at gassen direkte påvirker underlagsoverflaten og forårsaker lokal overoppheting eller luftstrømningsturbulens. Den nedre halvmåne grafittdelen lar gassen strømme jevnt gjennom underlaget og deretter slippes ut, samtidig som den forhindrer turbulens fra å påvirke vekstenhetene i det epitaksiale laget.

Når det gjelder termisk feltregulering ， sic belegg halvmoon grafittdeler hjelper til med å fordele varmen jevnt i reaksjonskammeret gjennom form og posisjon. Den øvre halvmånet grafittdelen kan effektivt gjenspeile den strålende varmen til varmeapparatet for å sikre at temperaturen over underlaget er stabil. Den nedre halvmåne grafittdelen har også en lignende rolle, og hjelper til med å fordele varmen under underlaget gjennom varmeledning for å forhindre overdreven temperaturforskjeller.

SiC-belegget gjør komponentene motstandsdyktige mot høye temperaturer og termisk ledende, så VeTek Semiconductors halvmånedeler har lang levetid. Våre halvmånegrafittdeler for SiC-epitaksi er nøye utformet og kan sømløst integreres i mange epitaksiale reaktorer, noe som bidrar til å forbedre den generelle effektiviteten og påliteligheten til halvlederproduksjonsprosessen. Uansett hva dine SiC-belegg Halfmoon-grafittdeler trenger, vennligst kontakt VeTek Semiconductor.

VeteksemSic belegg halvmoon grafittdeler butikker: