Bransjenyheter

Diamond, en potensiell fjerdegenerasjons "ultimate halvleder", får oppmerksomhet i halvledersubstrater på grunn av sin eksepsjonelle hardhet, termiske ledningsevne og elektriske egenskaper. Mens de høye kostnadene og produksjonsutfordringene begrenser bruken, er CVD den foretrukne metoden. Til tross for doping og store krystallutfordringer, holder diamant løftet.

SiC og GaN er halvledere med brede båndgap med fordeler fremfor silisium, for eksempel høyere nedbrytningsspenninger, raskere byttehastigheter og overlegen effektivitet. SiC er bedre for applikasjoner med høy spenning og høy effekt på grunn av sin høyere termiske ledningsevne, mens GaN utmerker seg i høyfrekvente applikasjoner takket være sin overlegne elektronmobilitet.

Elektronstrålefordampning er en svært effektiv og mye brukt belegningsmetode sammenlignet med motstandsoppvarming, som varmer opp fordampningsmaterialet med en elektronstråle, noe som får det til å fordampe og kondensere til en tynn film.

Vakuumbelegg inkluderer fordampning av filmmateriale, vakuumtransport og tynn filmvekst. I henhold til de forskjellige filmmaterialets fordampningsmetoder og transportprosesser, kan vakuumbelegg deles inn i to kategorier: PVD og CVD.