CVD SIC Coating Graphite Symesceptor

CVD SIC Coating Graphite Symesceptor er spesialdesignet for produksjon med høy presisjon i halvlederindustrien. Grafittunderlaget er belagt med et SIC-lag med høy renhet ved CVD-prosessen, som har utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og oksidasjonsmotstand, og kan fungere stabilt i lang tid i høye temperaturer og vakuummiljøer. Denne sokkelen er mye brukt i MOCVD, PECVD, PVD og annet utstyr for å støtte prosessering og håndtering av skiver og andre høye presisjonsmaterialer.

Kjernefordeler:

● Høy temperaturstabilitet: Selv med høy renhet har utmerket termisk stabilitet. Etter å ha blitt belagt med SIC -belegg, tåler det ekstreme miljøer med høyere temperatur og er egnet for høye temperaturprosesser i halvlederbehandling.

● Hjørneionemotstand: CVD SIC -belegg er resistent mot syre- og alkalikorrosjon og kan ha en lang levetid i CVD -prosessen.

● Høy H.Ardness og oksidasjonsmotstand: CVD SIC -belegg har utmerket hardhet, ripemotstand og oksidasjonsmotstand ved høye temperaturer for å opprettholde stabiliteten til materialet.

● God varmeledningsevne: Kombinasjonen av grafittsubstrat og CVD SIC -beleggsceptor gjør at basen har utmerket termisk ledningsevne, som effektivt kan utføre varme og forbedre produksjonseffektiviteten.

Produktspesifikasjoner:

● Materiale: grafittsubstrat + cvd sic belegg

● Beleggstykkelse: kan tilpasses i henhold til kundebehov

● Gjeldende miljø: Høy temperatur, vakuum, etsende gassmiljø

Tilpasset tjeneste:

Vi tilbyr svært tilpassede tjenester for å imøtekomme behovene til kundenes forskjellige utstyr og prosesser. I henhold til kundens spesifikke applikasjon, kan grafittbaser med forskjellige beleggtykkelser, overflatebehandlinger og presisjonsnivåer gis.

Veteksemi har alltid jobbet i CVD-silisiumkarbidbeleggindustrien og har det bransjeledende CVD SIC-belegget grafittbaseproduksjon og produksjonsnivå. Hvis du trenger mer produktinformasjon eller tilpassede tjenester, kan du kontakte Vetek Semiconductor, vi vil helhjertet gi deg profesjonell støtte.

SEM -data om CVD SIC -filmkrystallstruktur:

Det halvlederCVD SIC Coating Graphite Symesceptor Produktbutikker: