Produkter
CMP poleringsoppslemming
  • CMP poleringsoppslemmingCMP poleringsoppslemming

CMP poleringsoppslemming

CMP-poleringsoppslemming (kjemisk mekanisk poleringsoppslemming) er et materiale med høy ytelse som brukes i halvlederproduksjon og prosessering av presisjonsmateriell. Kjernefunksjonen er å oppnå fin flathet og polering av materialoverflaten under den synergistiske effekten av kjemisk korrosjon og mekanisk sliping for å oppfylle kravene til flathet og overflatekvalitet på nanonivå. Ser frem til din videre konsultasjon.

Veteksemicons CMP -poleringsoppslemming brukes hovedsakelig som et poleringsselskap i CMP -kjemisk mekanisk poleringsoppslemming for å planarisere halvledermaterialer. Det har følgende fordeler:

Diameteren og partikkelforeningens grad av partiklene kan fritt kontrolleres;
Partiklene er monodispert og partikkelstørrelsesfordelingen er ensartet;
Spredningssystemet er stabilt;
Masseproduksjonsskalaen er stor og forskjellen mellom partier er liten;
Det er ikke lett å kondensere og bosette seg.


Resultatindikatorer for produkter med ultrahøy renhet Series

Parameter
Enhet
Resultatindikatorer for produkter med ultrahøy renhet Series

Biskop
Biskop2
Biskop3
Biskop4
Biskop-5
Biskop6
Biskop7
Gjennomsnittlig silikapartikkelstørrelse
nm
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Nanopartikkelstørrelsesfordeling (PDI)
1 <0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
Løsning pH
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Solid innhold
% 20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
Utseende
-
Lyseblå
Blå
Hvit
Off-white
Off-white
Off-white
Off-white
Partikkelmorfologi x
X : S- Ferisk ; B- buet ; P-peanøttformet ; T- Bulbous ; C-kjedelignende (aggregert tilstand)
Stabiliserende ioner
Organiske / uorganiske aminer
Råstoffsammensetning y
Og : M-TMOS ; E-You ; Me-Tamos+Teos ; EM-EZOS+TMOS
Metall urenhetsinnhold
≤ 300 ppb


CMP Polishing Slurry Product Applications :


● Integrert krets ILD Materials CMP

● Integrert krets poly-Si-materialer CMP

● Semikonduktor enkeltkrystall silisium wafer materialer cmp

● Halvleder silisiumkarbidmaterialer CMP

● Integrert krets STI -materialer CMP

● Integrert kretsmetall og metallbarriere Lagmaterialer CMP


Hot Tags: CMP poleringsoppslemming
Send forespørsel
Kontaktinfo
For spørsmål om silisiumkarbidbelegg, tantalkarbidbelegg, spesialgrafitt eller prisliste, vennligst legg igjen din e-post til oss, så tar vi kontakt innen 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept