Nyheter

Denne artikkelen beskriver hovedsakelig de brede bruksutsiktene for silisiumkarbidkeramikk. Den fokuserer også på analysen av årsakene til sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk og de tilsvarende løsningene.

Etseteknologi i halvlederproduksjon møter ofte problemer som belastningseffekt, mikro-grooveffekt og ladeeffekt, som påvirker produktkvaliteten. Forbedringsløsninger inkluderer optimalisering av plasmatetthet, justering av reaksjonsgass -sammensetning, forbedring av vakuumsystemeffektivitet, utforming av rimelig litografisk utforming og valg av passende etsemaskerematerialer og prosessforhold.

Hotpressende sintring er hovedmetoden for å forberede SIC-keramikk med høy ytelse. Prosessen med varmpressende sintring inkluderer: å velge SIC-pulver med høy renhet, pressing og støping under høy temperatur og høyt trykk, og deretter sintring. SIC keramikk utarbeidet ved denne metoden har fordelene med høy renhet og høy tetthet, og er mye brukt i slipeskiver og varmebehandlingsutstyr for skivebehandling.