Nyheter

Kvartsbåt er en viktig bærende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosessen. Det brukes hovedsakelig til behandling av høye temperaturer av skiver, for eksempel diffusjon, oksidasjon og glød. Den utmerkede termiske stabiliteten, lave forurensningskarakteristikkene og korrosjonsmotstanden gjør det til et uunnværlig materiale i halvlederindustrien. Denne artikkelen vil utdype de materielle, fysiske egenskapene, klassifiseringen, applikasjonsscenariene til kvartsbåt og dens forskjeller fra PECVD -grafittbåt.

Kjernen i PECVD-grafittbåt er isotropisk grafittmateriale med høy renhet (renhet er vanligvis ≥99.999%), som har utmerket elektrisk ledningsevne, termisk ledningsevne og tetthet. Sammenlignet med vanlige grafittbåter, har PECVD -grafittbåter mange fordeler med fysisk og kjemisk eiendom og brukes hovedsakelig i halvleder- og solcelleindustrien, spesielt i PECVD- og CVD -prosesser.

MOCVD -grafittbrett spiller en viktig rolle i den epitaksiale prosessen. Denne artikkelen gjør en detaljert analyse av valg av MOCVD -grafittbrett fra perspektivene til materialegenskaper og applikasjonsscenarier.