Kvartsbåt er en viktig bærende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosessen. Det brukes hovedsakelig til behandling av høye temperaturer av skiver, for eksempel diffusjon, oksidasjon og glød. Den utmerkede termiske stabiliteten, lave forurensningskarakteristikkene og korrosjonsmotstanden gjør det til et uunnværlig materiale i halvlederindustrien. Denne artikkelen vil utdype de materielle, fysiske egenskapene, klassifiseringen, applikasjonsscenariene til kvartsbåt og dens forskjeller fra PECVD -grafittbåt.
Kjernen i PECVD-grafittbåt er isotropisk grafittmateriale med høy renhet (renhet er vanligvis ≥99.999%), som har utmerket elektrisk ledningsevne, termisk ledningsevne og tetthet. Sammenlignet med vanlige grafittbåter, har PECVD -grafittbåter mange fordeler med fysisk og kjemisk eiendom og brukes hovedsakelig i halvleder- og solcelleindustrien, spesielt i PECVD- og CVD -prosesser.
MOCVD -grafittbrett spiller en viktig rolle i den epitaksiale prosessen. Denne artikkelen gjør en detaljert analyse av valg av MOCVD -grafittbrett fra perspektivene til materialegenskaper og applikasjonsscenarier.
Grafittmaterialer har et bredt spekter av applikasjonsscenarier. Blant dem er isotropisk grafitt og silikonisert grafitt de to viktigste forskjellige typene grafittmaterialer, og deres egenskaper, applikasjonsscenarier og fordeler er betydelig forskjellige. Denne bloggen vil gjennomføre en komparativ analyse fra tre aspekter: strukturelle egenskaper, applikasjonsscenarier og produktfordeler.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy