SiC-belagt waferbærer

Chip-produksjonen er uatskillelig fra wafere. I waferforberedelsesprosessen er det to kjerneledd: den ene er forberedelsen av substratet, og den andre er implementeringen av den epitaksiale prosessen. Substratet kan settes direkte inn i wafer-produksjonsprosessen for å produsere halvlederenheter, eller forbedres ytterligere gjennomepitaksial prosess. 

Epitaksi er å dyrke et nytt lag med enkrystall på et enkelt krystallsubstrat som har blitt finbehandlet (skjæring, sliping, polering, etc.). Fordi det nyvokste enkeltkrystalllaget vil ekspandere i henhold til krystallfasen til underlaget, kalles det et epitaksielt lag. Når epitaksiallaget vokser på underlaget, kalles det hele en epitaksial wafer. Innføringen av epitaksial teknologi løser smart mange defekter ved enkeltsubstrater.

I den epitaksiale vekstovnen kan ikke underlaget plasseres tilfeldig, og enoblatbærerer nødvendig for å plassere substratet på waferholderen før epitaksial avsetning kan utføres på substratet. Denne waferholderen er den SiC-belagte waferholderen.

Tverrsnittsbilde av EPI-reaktoren

En høy kvalitetSiC-beleggbrukes på overflaten til SGL -grafitt ved bruk av CVD -teknologi:

Ved hjelp av SIC -belegg, mange egenskaper tilSic belagt waferholderhar blitt betydelig forbedret:

●  Antioksidantegenskaper: SiC-belegg har god oksidasjonsmotstand og kan beskytte grafittmatrisen mot oksidasjon ved høye temperaturer og forlenge levetiden.

●  Høy temperaturmotstand: Smeltepunktet for SiC-belegg er svært høyt (ca. 2700°C). Etter å ha tilsatt SiC-belegg til grafittmatrisen, tåler den høyere temperaturer, noe som er fordelaktig å påføre i miljø med epitaksial vekstovn.

● Korrosjonsmotstand: Grafitt er utsatt for kjemisk korrosjon i visse sure eller alkaliske miljøer, mens SIC -belegg har god motstand mot syre og alkalikorrosjon, så det kan brukes i epitaksiale vekstovner i lang tid.

● Bruk motstand: SiC-materiale har høy hardhet. Etter at grafitt er belagt med SiC, blir det ikke lett skadet når det brukes i en epitaksial vekstovn, noe som reduserer materialslitasjehastigheten.

Vetek Semiconductor bruker de beste materialene og den mest avanserte prosesseringsteknologien for å gi kundene bransjeledende SIC-belagte Wafer Carrier-produkter. Vetek Semiconductors sterke tekniske team er alltid opptatt av å skreddersy de mest passende produktene og de beste systemløsningene for kundene.

SEM -data fra CVD SIC -film

Det halvlederSiC-belagte waferbærerbutikker