Nyheter

Sic keramikk er et keramisk materiale produsert ved reaksjonen av silisium (SI) og karbon (C) elementer, med ekstremt høy hardhet, varmebestandighet og kjemisk stabilitet

I den høye innsatsen av halvlederfremstilling, er presisjon og stabilitet alt-og det er der den elektrostatiske chuck (ESC) tråkker inn. Langt mer enn bare et holdeverktøy bruker ESC elektrostatiske krefter for å sikre klemmer under kritiske prosesser som etsning, avsetning og ionimplantasjon. Men hvordan fungerer det egentlig? Hvorfor er det overlegen tradisjonell mekanisk klemme? Og hvilken rolle spiller det for å oppnå nanoskala nøyaktighet og gjennomstrømningseffektivitet? Velkommen til å lese.

Dechuck -prinsippet for den elektrostatiske chuck er en sentral del av arbeidsflyten som innebærer eliminering av elektrostatisk kraft og fronteringsmekanismer.

Glassaktig karbon er et ikke-grafitisert karbon som kombinerer egenskapene til glass og keramikk. Det har mange egenskaper som høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand, god elektrisk ledningsevne, etc. Denne bloggen analyserer forskningshistorien og fremtidig utviklingstrend for glassaktig karbon, som er verdt å lese.