Nyheter

Denne artikkelen introduserer den siste utviklingen i den nydesignede PE1O8 varmvegg CVD-reaktoren til det italienske selskapet LPE og dens evne til å utføre ensartet 4H-SiC-epitaksi på 200 mm SiC.

Med den økende etterspørselen etter SIC -materialer i kraftelektronikk, optoelektronikk og andre felt, vil utviklingen av SIC -krystallvekstteknologi bli et sentralt område for vitenskapelig og teknologisk innovasjon. Som kjernen i SIC enkeltkrystallvekstutstyr vil termisk feltdesign fortsette å få omfattende oppmerksomhet og grundig forskning.

Gjennom kontinuerlig teknologisk fremgang og en grundig mekanismeforskning, forventes 3C-SIC heteroepitaksial teknologi å spille en viktigere rolle i halvlederindustrien og fremme utviklingen av elektroniske enheter med høy effektivitet.